Настроювані керамічні насадки

Настроювані керамічні насадки є важливими напівпровідниковими компонентами, які використовуються для з’єднання внутрішньої та зовнішньої частин реакційної камери в процесі HDP-CVD. Точна обробка настроюваних керамічних сопел допомагає точно покращити контроль швидкості потоку технологічного газу, мінімізувати можливу турбулентність і допомогти у формуванні більш рівномірного та стабільного середовища відбиття.

Semicorex використовує технологію обробки з числовим керуванням для досягнення високої точності та високоефективності обробки керамічних сопел, що налаштовуються. Технологія точної механічної обробки суворо контролює допуски на розміри внутрішнього діаметра, зовнішнього діаметра та довжини керамічних форсунок у межах стандартного діапазону, забезпечуючи високу узгодженість форми та розміру форсунок, тим самим значно підвищуючи рівномірність та стабільність розпилення під час фактичної роботи.

Ідеальна обробка поверхні надає настроюваним керамічним соплам гладку та плоску поверхню та розмір пор без тріщин, пір, домішок та інших дефектів, максимально мінімізуючи витік рідини або змішування домішок. Завдяки остаточному процесу обробки поверхні керамічні насадки, що налаштовуються, мають гладку та плоску поверхню без тріщин, пір, домішок та інших дефектів, максимально мінімізуючи витік рідини або змішування домішок. Настроювані керамічні насадки, які пройшли ультрачисту обробку очищення, не містять частинок забруднення та мають чистоту на рівні напівпровідника, що гарантує клієнтам досягнення рівномірних і без забруднень високоякісних результатів нанесення плівки.

Апертуру та структуру форми цього індивідуального керамічного сопла було науково оптимізовано та розроблено, що дозволяє точно контролювати потік газу. Ця конструкція не тільки безпосередньо впливає на однорідність і контроль товщини плівки, але також ефективно зменшує різноманітні дефекти в нанесеному шарі, забезпечуючи надійну гарантію для відповідного процесу виробництва плівки.

Технічна команда Semicorex може забезпечити повну технічну співпрацю від вибору матеріалу до керамічних насадок, впроваджуючи у ваш виробничий процес високу стабільність, тривалий термін служби та мінімальне обслуговування. Щоб задовольнити диференційовані вимоги різних умов праці, Semicorex ретельно обирає три високоефективні матеріали:карбід кремнію, глиноземідіоксид цирконію— щоб точно відповідати вашим технічним вимогам. Ми приймаємо індивідуальні послуги на основі наданих креслень. Незалежно від того, чи йдеться про контур, допуск на розміри чи параметри апертури, пов’язані з основними функціями (включно з розміром апертури, дизайном типу отвору, оздобленням внутрішньої стінки та іншими деталями), наша технічна команда може налаштувати індивідуальні керамічні насадки, які відповідають вашим умовам роботи.