Вакуумна піч CVD і CVI

Semicorex є великомасштабним виробником і постачальником продукції з покриттям з карбіду кремнію в Китаї. Ми пропонуємо індивідуальні рішення для печей. Наша вакуумна піч CVD і CVI має гарну цінову перевагу та охоплює багато європейських та американських ринків. Ми сподіваємося стати вашим довгостроковим партнером.

Надіслати запит

Опис продукту

Вакуумна піч Semicorex CVD and CVI — це високоякісний інструмент, призначений для процесів хімічного осадження з парової фази (CVD). Температура реакції до 2200°С. Він здатний осаджувати широкий спектр матеріалів, включаючи карбід кремнію, нітрид бору, графен тощо. Піч CVD має міцну конструкцію і виготовлена з високоякісних матеріалів, що забезпечує надійність і довговічність при тривалому використанні. Має як горизонтальну, так і вертикальну структуру.

застосування:Композитний гальмівний диск C/C, тигель, форма тощо.

Особливості вакуумної печі Semicorex CVD і CVI

1.Надійна конструкція з високоякісних матеріалів для тривалого використання;

2. Точно контрольована подача газу за допомогою контролерів масової витрати та високоякісних клапанів;

3. Обладнано функціями безпеки, такими як захист від перегріву та виявлення витоку газу для безпечної та надійної роботи;

4. Використання кількох зон контролю температури, велика однорідність температури;

5. Спеціально розроблена камера для осадження з хорошим ефектом ущільнення та чудовою ефективністю захисту від забруднення;

6. Використання кількох каналів осадження з рівномірним потоком газу, без мертвих кутів осадження та ідеальної поверхні осадження;

7. Він має обробку смол, твердого пилу та органічних газів під час процесу осадження

Додаткові функції:

•Дверцята печі: гвинтові/гідравлічні/ручного типу підйому; поворотне відкриття/паралельне відкриття (великий розмір

дверцята топки); ручне затягування/ автоматичне затягування замкового кільця

• Ємність печі: повністю вуглецева сталь/внутрішній шар з нержавіючої сталі/повністю з нержавіючої сталі

• Гаряча зона печі: м’який вуглецевий фетр/м’який графітовий фетр/жорсткий композитний фетр/CFC

• Нагрівальний елемент і муфель: ізостатичний прес-графіт/графіт високої чистоти, міцності та щільності/графіт тонкого розміру

• Система технологічного газу: об'ємний/масовий витратомір

• Термопара: тип K/тип N/тип C/тип S

Технічні характеристики CVD печі
Модель	Розмір робочої зони (Ш × В × Д) мм	Макс. Температура (°C)	Температура Однорідність (°C)	Максимальний вакуум (Па)	Швидкість підвищення тиску (Па/год)
LFH-6900-C	600×600×900	1500	±7,5	1-100	0.67
LFH-10015-C	1000×1000×1500	1500	±7,5	1-100	0.67
LFH-1220-C	1200×1200×2000	1500	±10	1-100	0.67
LFH-1530-C	1500×1500×3000	1500	±10	1-100	0.67
LFH-2535-C	2500×2000×3500	1500	±10	1-100	0.67
LFV-D3050-C	φ300×500	1500	±5	1-100	0.67
LFV-D6080-C	φ600×800	1500	±7,5	1-100	0.67
LFV-D8120-C	φ800×1200	1500	±7,5	1-100	0.67
LFV-D11-C	φ1100×2000	1500	±10	1-100	0.67
LFV-D26-C	φ2600×3200	1500	±10	1-100	0.67

*Наведені вище параметри можна налаштувати відповідно до вимог процесу, вони не є прийнятними стандартами, детальними специфікаціями. буде зазначено в технічній пропозиції та договорах.