Електростатичний патрон

Електростатичний патрон Semicorex із використанням високочистої кераміки з оксиду алюмінію забезпечує першокласну продуктивність у налаштуваннях, де пріоритетом є точність, стабільність і чистота. Глинозем, також відомий як оксид алюмінію (Al2O3), є керамічним матеріалом, відомим своїми винятковими електроізоляційними властивостями, високою теплопровідністю та винятковою механічною міцністю. Ці властивості роблять його ідеальним матеріалом для виготовлення електростатичного патрона, призначеного для витримування вимогливих умов обробки напівпровідників. Керамічний ESC з оксиду алюмінію розроблено таким чином, щоб витримувати високі температури, корозійне середовище та механічні навантаження під час обробки та обробки пластин, що відіграє вирішальну роль у забезпеченні продуктивності та якості напівпровідникових пристроїв.

Основним принципом електростатичного патрона є електростатична сила, яка використовується для надійного утримання пластини на місці. Ця сила створюється шляхом подачі напруги на електроди, вбудовані в керамічний матеріал. Взаємодія між електростатичним полем і індукованими зарядами на поверхні пластини створює сильну силу затиску, яка утримує пластину на поверхні патрона. Конструкція глиноземної кераміки ESC забезпечує рівномірний розподіл сили затиску по пластині, мінімізуючи ризик зісковзування або пошкодження під час обробки.

Однією з ключових переваг використання глиноземної кераміки в конструкції електростатичного патрона є її виняткові електроізоляційні властивості. Висока діелектрична міцність глинозему дозволяє застосовувати високу напругу без ризику електричного пробою, що має вирішальне значення для підтримки цілісності електростатичного поля. Це особливо важливо в таких процесах, як плазмове травлення або хімічне осадження з парової фази, де пластина піддається впливу високоактивних середовищ, і будь-яка зміна сили затиску може призвести до дефектів або пошкодження пластини.

Окрім своїх електричних властивостей, глиноземна кераміка демонструє чудову теплопровідність, необхідну для керування теплом, що виділяється під час обробки напівпровідників. Здатність електростатичного патрона ефективно розсіювати тепло допомагає підтримувати стабільну температуру на пластині, зменшуючи температурні градієнти, які можуть призвести до викривлення або інших форм теплового стресу. Ця термічна стабільність має вирішальне значення для забезпечення точності та повторюваності таких процесів, як фотолітографія, де навіть незначні відхилення температури можуть вплинути на результат.