Злиті кварц

Semicorex зрощені кварцові картинки - це цінні витратні матеріали, що використовуються при виробництві напівпровідників, зі значною чистотою, термічною стійкістю та механічною міцністю в екстремальних температурних середовищах. Ці тиглі виготовляються з високого силікатного піску з високою чистотою, який зливається разом, використовуючи висококонтрольовану техніку плавлення для досягнення найвищої наявної щільності, з переважно однорідним матеріалом з обмеженими включеннями або бульбашками в його структурі, що дуже відтворюється для випуску кристалів і вафельних виробів. Ці тиглі мають наднизький рівень забруднення, що робить їх ідеальними для процесів, де чистота матеріалу безпосередньо впливає на врожайність та продуктивність пристрою.

Злиті кварцові визначені використовуються для виробництва напівпровідника для методу Чокральського (CZ) монокристалічного росту кремнію. Злиті кварцові визначені мають високий тепловий опір, що дозволяє їм протистояти температурі, щоб розплавити полісилікон, який часто вище 1400 ° C.  Крім того, спалені кварцові тиглі хімічно інертні і не будуть реагувати з полісиліконом таким чином, що вплине на чистоту кремнію.  Розплічені кварцові тиглі можуть зазнати дуже значного теплового циклу без втрати структурної цілісності, і це може забезпечити постійний стан для росту насіння в кристалічну структуру, тим самим досягаючи необхідної рівномірності в напівпровідникових вафлях.

ЗЗлитий кварцОптичні властивості та механічні характеристики дають унікальні переваги в напівпровідниковому налаштуванні. Низький коефіцієнт теплового розширення зменшить термічний удар і розмірність неузгодженості, тоді як низька теплопровідність допоможе зберегти градієнти температури в печі росту кристалів відносно кристала. Внутрішня поверхня тигель, що є гладким минулим теплом, мінімізує генерацію частинок і сприятиме рівномірній поведінці розплаву, що ще більше захистить чистоту вирощеного кристала.

Виробничі процеси, що використовуються для того, щоб забезпечити кожну зрощену кварцову відповідну відповідність з суворими розмірними допусками та поверхневими якостями. Вибір сировини обстежується для усунення металевих забруднень, плавлення відбувається в спеціалізованому середовищі, що заперечує атмосферний газ та/або забруднення твердих часток. Виходячи з напівпровідникового застосування, тиглі можуть бути виготовлені в декількох діаметрах та товщинах стінок, від невеликих дослідницьких тигльних, до великих діаметрів, здатних виробляти 300 мм вафель.

Незважаючи на те, що унікальні властивості сплавленого кварцового тиску вже покращують довговічність та продуктивність, додаткові спеціалізовані поверхневі обробки або покриття можуть бути використані при необхідності. Наприклад, деякі процеси включатимуть відкладення внутрішнього кремнієвого шару для поліпшення тривалості життя тигля або для подальшого мінімізації кількості кисню, що потрапляє до розплавленого кремнію. Ці вдосконалення допомагають ефективності виробництва напівпровідників, якщо процес використовує кварцовий тигель, оскільки він зменшує частоту заміни та призводить до більшої кількості врожайності кристалів.

Злиті кварцові Crucibles також відіграють роль у дослідженні та розробці нових процесів у напівпровідниковій галузі. Його адаптованість надає інженерам можливість досліджувати альтернативні методи вирощування кристалів, матеріали допінгові технології або нові напівпровідникові матеріали поза кремнію, як арсенід галію або карбід кремнію. Здатність спаленого кварцового тиску протистояти екстремальній хімічній та термічній умовах надає інженерам остаточну впевненість як у масовому виробництві, так і в експериментальному виготовленні.

Semicorex зрощенийкварцCrucibles стали критичними інструментами в сучасному напівпровідниковому виробництві, що демонструє високу чистоту, чудові теплові властивості та неймовірну структурну стабільність щодо найсуворіших галузевих стандартів. Таким чином, їх здатність генерувати дефекти, а також високопродуктивні напівпровідникові вафлі безпосередньо впливають на надійність та продуктивність електронних пристроїв по всьому світу.