П'єдестал з плавленого кварцу

У виробництві напівпровідників підставка з плавленого кварцу служить опорою для кварцового човна, який утримує пластини. Підтримуючи постійну температуру, це допомагає досягти рівномірного осадження тонкої плівки, критичного фактора для продуктивності та надійності напівпровідникових пристроїв. П’єдестал забезпечує рівномірний розподіл тепла та світла в робочій камері, тим самим підвищуючи загальну якість процесу осадження.

Переваги плавленого кварцового матеріалу

1. Стійкість до високих температур

П’єдестал із плавленого кварцу має точку розм’якшення приблизно 1730°C, що дозволяє йому витримувати тривале використання при температурах від 1100°C до 1250°C. Крім того, він може витримувати короткочасний вплив температури до 1450°C.

2. Стійкість до корозії

П’єдестал із плавленого кварцу хімічно інертний до більшості кислот, за винятком фтористоводневої. Його кислотостійкість перевищує показники кераміки в 30 разів і нержавіючої сталі в 150 разів. За підвищених температур жоден інший матеріал не може зрівнятися за хімічною стабільністю з плавленим кварцом, що робить його ідеальним вибором для жорстких хімічних середовищ.

3. Термічна стабільність

Однією з видатних особливостей підставки з плавленого кварцу є її мінімальний коефіцієнт теплового розширення. Ця властивість дозволяє йому витримувати сильні перепади температур без розтріскування. Наприклад, його можна швидко нагріти до 1100°C, а потім занурити у воду кімнатної температури без пошкодження — це важлива характеристика для виробничих процесів із високим навантаженням.

Виробничий процес

Процес виробництва підставки з плавленого кварцу ретельно контролюється для забезпечення найвищих стандартів якості. П’єдестали виготовляються за допомогою процесів термоформування та зварювання, які проводяться в чистих приміщеннях класу 10 000 або вище. Подальше очищення ультрачистою водою (18 МОм)додатково забезпечує чистоту та ефективність продукту. Кожна підставка з плавленого кварцу проходить сувору перевірку, очищення та пакування в чистій кімнаті класу 1000 або вище, щоб відповідати суворим вимогам виробництва напівпровідників.

Непрозорий кварцовий матеріал високої чистоти

Для ефективного блокування тепла та світла в підставці з плавленого кварцу використовується непрозорий кварцовий матеріал високої чистоти. Унікальні властивості цього матеріалу підвищують здатність підставки підтримувати стабільну та рівномірну температуру в робочій камері, забезпечуючи тим самим незмінну якість осадження тонких плівок на пластини.

Широкий спектр застосування

Виняткові властивості підставки з плавленого кварцу роблять її придатною для різноманітних застосувань у напівпровідниковій промисловості. У процесах ALD він підтримує точний контроль росту тонкої плівки на атомарному рівні, необхідний для виробництва передових напівпровідникових пристроїв. Під час процесів LPCVD термостабільність підставки та здатність блокувати світло сприяють рівномірному осадженню плівки, покращуючи продуктивність пристрою та продуктивність.

У процесах дифузії високотемпературна стійкість і хімічна інертність Fused Quartz Pedestal забезпечують надійне та послідовне легування напівпровідникових матеріалів. Ці процеси мають вирішальне значення для визначення електричних властивостей напівпровідникових пристроїв, а використання високоякісних матеріалів, таких як плавлений кварц, має важливе значення для досягнення оптимальних результатів.