Графітові тиглі

Графіки Semicorex графіт є критичними компонентами в процесі виготовлення напівпровідників, особливо під час стадії росту кристалів. Ці високоефективні контейнери розробляються для витримки екстремальних умов, необхідних для виробництва високоочистого кремнію або складених напівпровідникових кристалів методами, такими як процес Чокральського (CZ) або методика поплавкової зони (FZ).

Основна функція графітових тигльних розбитків-це протистояти та підтримувати надзвичайно високі температури, як правило, вище 2000 ° C, де часто синтезуються напівпровідникові матеріали третього покоління, такі як карбід кремнію та нітрид галію. Розбиття, виготовлені з графіту з високою чистотою, виявляють відмінну стійкість до високих температур, що підтримують свої фізичні та хімічні стани на таких екстремальних рівнях без будь-якої форми розкладання або навіть метаморфози. Хороша теплова провідність графітними Крупами означає, що вони не тільки проводитимуть тепло рівномірно, але й створюють стабільне температурне поле. Це вступає в гру під час процесів плавлення та кристалізації, оскільки рівномірний розподіл температури дозволить матеріал росту в більш -менш еквівалентних умовах, тим самим зменшуючи дефекти кристалів та дозволяючи якості напівпровідникових кристалів.

У процесах росту кристалів нітриду карбіду або галію (наприклад, епітакси -ССЗ епітаксиї фази або фізичний транспорт пари) графітні тиглі використовуються для утримання сировини та забезпечення контрольованого середовища росту. Хімічна інертність тигель гарантує, що вона не хімічно реагує з напівпровідниковим матеріалом при високих температурах, тим самим підтримуючи високу чистоту матеріалу. У той же час, хороша теплопровідність графітового тиску допомагає утворити рівномірний градієнт температури, забезпечуючи ідеальні умови для росту кристалів та зменшення домішок та структурних дефектів.

Хімічна інертність графітових тиглі є ключовою особливістю очищення напівпровідникових матеріалів. Його графітовий матеріал з високою чистотою може виділити зовнішнє забруднення та запобігти потраплянню домішок у розплавлений напівпровідниковий матеріал. Поверхня графітного тигля також може бути покрита (наприклад, кремнієве покриття карбіду) для підвищення стійкості до окислення та резистентності до корозій, що надалі забезпечує високу чистоту та високу стабільність виробничого процесу.