Графітовий електрод

Графітові електроди Semicorex мають чудову електропровідність, що сприяє ефективній подачі електроенергії з мінімальними втратами, і вони мають чудову теплопровідність, що дозволяє швидко рівномірно передавати тепло в печі. Поєднання низького теплового розширення та високої механічної міцності зменшує деформацію та розтріскування під час термоциклування, забезпечуючи стабільну роботу протягом тривалого терміну служби. Кожен електрод оброблено з дотриманням суворих допусків на розміри та високоякісної обробки поверхні, щоб забезпечити послідовний контакт і незначний електричний опір на контактній поверхні.

Графітовий електрод виготовляється з високоякісного дрібнозернистого графітового матеріалу, кожен з яких виготовляється з використанням вдосконаленої послідовності екструзії, високотемпературної карбонізації та графітизації. Мікроструктура графіту розроблена для приблизно постійного питомого електричного опору, високої теплопровідності та механічної стабільності. Кінцевий продукт — це теплопровідник високої чистоти, який підтримує фізичний стан і рівномірний розподіл струму в середовищі високої потужності, а також при швидких коливаннях температури.

Ультра продуктивність у насграфіт

Наш графіт гарантує чудову однорідність продуктивності. По-перше, під час карбонізації наші печі мають лише 115 куб. Наша технічна команда контролює температурне поле графітових виробів у різних зонах кожної печі. На початковому низькотемпературному етапі (0-200°C) контролюємо температуру в межах ±10°C, а на високих температурах (понад 600°C) – в межах ±1°C. Ми не тільки контролюємо температурне поле між різними частинками графіту, але також поверхневу та внутрішню температуру кожного окремого шматка графіту, контролюючи її в межах ±3°C. Ми контролюємо 8 температурних точок у кожній печі карбонізації.

По-друге, під час процесу графітизації, на прикладі партії 500 кг, ми також контролюємо 8 температурних точок. Після графітизації ми випадково відбираємо та перевіряємо 24 точки вздовж осей X, Y та Z, щоб забезпечити однорідність. Більшість компаній у галузі перевіряють лише вісь X або, щонайбільше, вісь XY, типові виробники перевіряють лише 6-8 точок, а кращі – 12 точок. Тестуємо 24 бали.

У тепловому полі напівпровідників графітовий електрод є важливою частиною нагрівального вузла, який направляє електричний струм у зону нагріву та забезпечує контрольований розподіл температури в певному процесі, такому як окислення, дифузія, LPCVD або епітаксія. Графітовий електрод повинен надійно працювати при температурах, що перевищують 2000 °C, і при цьому бути стійким до окислення, деформації або забруднення місця нагріву.

Графітові електроди Semicorex мають чудову електропровідність, що сприяє ефективній подачі електроенергії з мінімальними втратами, і вони мають чудову теплопровідність, що дозволяє швидко рівномірно передавати тепло в печі. Поєднання низького теплового розширення та високої механічної міцності зменшує деформацію та розтріскування під час термоциклування, забезпечуючи стабільну роботу протягом тривалого терміну служби. Кожен електрод оброблено з дотриманням суворих допусків на розміри та високоякісної обробки поверхні, щоб забезпечити послідовний контакт і незначний електричний опір на контактній поверхні.

Враховуючи специфічні вимоги до напівпровідникових процесів, Semicorex може розробити індивідуальні конструкції електродів, які відповідають будь-якій конфігурації печі та специфікації потужності. Можуть бути доступні різні діаметри, довжини, типи з'єднань або обробки поверхні. За потреби можна наносити матеріали покриття, такі як SiC або піролітичний вуглець, щоб підтримати стійкість до окислення та термін служби в середовищі з високим вмістом кисню або реактивних газів.

Висока чистотаграфітовий матеріалслужить для забезпечення неймовірно низького рівня металевих домішок (і газоподібних домішок), часто більше 99,999% вуглецю. Такий низький рівень домішок допомагає уникнути забруднення напівпровідникових пластин під час термічної обробки. У поєднанні зі значною глибиною механічної обробки та полірованою поверхнею графітові електроди Semicorex відповідають як механічній, так і хімічній стабільності найсучасніших технологій виготовлення пластин.

Незалежно від того, чи використовується в дифузійних печах, епітаксіальних реакторах або високотемпературному обробному обладнанні, графітовий електрод Semicorex забезпечує неперевершену продуктивність у найвимогливіших теплових середовищах. Поєднуючи високу чистоту, точну геометрію та вдосконалену обробку матеріалів, Semicorex пропонує рішення для електродів, яке забезпечує стабільну провідність струму, постійне нагрівання та довгострокову експлуатаційну надійність, необхідну для виробництва напівпровідників наступного покоління.