Графітовий нагрівач для гарячої зони

Однорідний розподіл температури:Графітовий нагрівач для гарячої зони відомий своїми рівномірними нагрівальними характеристиками, досягнутими завдяки поєднанню ретельної обробки матеріалу та точної обробки. Ця однорідність забезпечує постійний температурний профіль по всій поверхні нагріву, мінімізуючи температурні градієнти, які можуть призвести до нерівномірної обробки пластин, зниження продуктивності та непостійної продуктивності пристрою.

Виняткова стійкість до корозії:Графітовий нагрівач для гарячої зони демонструє надзвичайну стійкість до різноманітних корозійних газів і хімічних речовин, які зазвичай зустрічаються під час обробки високотемпературних напівпровідників. Ця властива інертність забезпечує довгострокову стабільність і продуктивність обігрівача, мінімізуючи ризики забруднення та подовжуючи термін служби.

Чудова стійкість до окислення:На відміну від звичайного графіту, Graphite Heater For Hot Zone демонструє чудову стійкість до окислення навіть при підвищених температурах. Ця характеристика має вирішальне значення для підтримки цілісності нагрівача та запобігання утворенню забруднення частинками в робочій камері.

Надвисока хімічна чистота:Графітовий нагрівач для гарячої зони обробляється для досягнення надвисоких рівнів чистоти, мінімізуючи ризик введення небажаних забруднень у середовище обробки напівпровідників. Ця виняткова чистота необхідна для збереження цілісності делікатних напівпровідникових матеріалів і забезпечення бажаних електричних і оптичних властивостей виготовлених пристроїв.

Висока механічна міцність і стабільність:Графітовий нагрівач для гарячої зони має чудову механічну міцність і стабільність розмірів при підвищених температурах, що дозволяє виготовляти міцні компоненти нагрівача, здатні витримувати суворі умови експлуатації при високій температурі, включаючи термічний цикл і механічні навантаження.