Горизонтальні кварцові вафельні човники

Горизонтальні кварцові вафельні човникизазвичай тримають напівпровідникові пластини горизонтально в трубах печі обладнання для термообробки, нагріваються зовнішніми нагрівальними пристроями. Вони широко використовуються в процесах високотемпературної корозійної термообробки напівпровідників, таких як термічне окислення, високотемпературна дифузія, відпал і процеси хімічного осадження з парової фази (CVD).

Функції горизонтальних кварцових вафельних човнів Semicorex

1.Стабільне утримання та закріплення

Горизонтальні кварцові пластини Semicorex мають відмінну несучу здатність і можуть постійно забезпечувати стабільну підтримку для кількох напівпровідникових пластин. І їх оптимізований зовнішній дизайн і точна структура слотів забезпечують коженвафельнийідеально підігнаний і міцно закріплений на горизонтальних кварцових вафельних човнах, що значно зменшує подряпини та зіткнення пластин, спричинені струшуванням, зміщенням і нахилом під час транспортування та виробничих процесів.

2. Допомога в одноманітності процесу

Структура прорізів із рівним інтервалом горизонтальних кварцових пластин дозволяє впорядковано розміщувати напівпровідникові пластини, таким чином створюючи стабільне та плавне поле газового потоку у високотемпературних печах. Структурна конструкція забезпечує послідовний газовий контакт і швидкість реакції на кожній поверхні пластини, тим самим ефективно зменшуючи різноманітні дефекти, спричинені нерівномірним нагріванням і диференціальним газовим контактом, такі як неповне окислення пластини, нерівномірне осадження тонкої плівки та відхилення концентрації легуючої речовини.

3. Тривалий термін служби

Завдяки чудовій стійкості до високих температур кварцового матеріалу, горизонтальні кварцові вафельні човни Semicorex можуть витримувати високі температури 1100-1200 ℃ протягом тривалого часу без деформації та плавлення.Кварцхімічно інертний до газів, які зазвичай використовуються в напівпровідникових процесах, таких як кисень, азот і хлористий водень. Ця виняткова хімічна інертність може мінімізувати ризик корозії від технологічних газів, значно подовжуючи термін служби та скорочуючи час і витрати на заміну обладнання.