Горизонтальна вафельна касета

Властивості матеріалу

Горизонтальна вафельна касета Semicorex є життєво важливим інструментом у напівпровідниковій промисловості для захисту та обробки пластин на різних етапах виробництва. Ці касети, які часто називають носіями пластин, призначені для зберігання та переміщення кількох пластин однакового розміру. Вони забезпечують чудову продуктивність у різноманітних виробничих умовах, задовольняючи певні технологічні вимоги, такі як термічна обробка, і доступні з широкого діапазону матеріалів.

Різні матеріали на вибір

Горизонтальні вафельні касети виготовляються з різних високоефективних матеріалів, щоб задовольнити різноманітні вимоги виробництва напівпровідників. Вони забезпечують видатну хімічну стійкість і термічну стабільність і включають PVDF, ECTFE Halar, PFA тефлон і PTFE тефлон. Варіанти з нержавіючої сталі, такі як 304L і 316, рекомендуються для застосувань, які потребують підвищеної механічної міцності та стійкості до корозії. Природний поліпропілен також використовується через його економічність і легкість, що забезпечує гнучкість у застосуванні, зберігаючи при цьому цілісність процедури обробки пластин.

Особливості Advanced Design

Маючи характеристики, які можна регулювати відповідно до певних експлуатаційних вимог, горизонтальні касети для пластин ретельно конструюються. Вони складаються з профілів бічних отворів, точок контакту з субстратом, кроку та відстані між субстратом, а також розмірів і форм, які можна змінювати. Їх адаптивність у різноманітних процесах збільшується завдяки їх універсальності в орієнтації підкладки та здатності працювати з різними розмірами підкладки. Крім того, до цих касет можна додати функції автоматизації та можливості поводження з касетами, наприклад знімні ручки для більшої зручності.

Додатки

У виробництві напівпровідників використання горизонтальних касет для пластин має важливе значення для гарантування безпечного та ефективного поводження з пластинами під час різноманітних процедур.

Горизонтальні вафельні касети виготовлені з міцних високоякісних матеріалів і забезпечують надійний захист від фізичного пошкодження та забруднення, двох основних проблем у напівпровідникових установках. Архітектура касет захищає тендітні пластини під час зберігання та транспортування, зменшуючи вплив будь-яких забруднень.

Покращене очищення та сушіння

Кращі результати миття та сушіння стають можливими завдяки великій площі отвору в конструкції горизонтальних вафельних касет. Ця характеристика має вирішальне значення для збереження чистоти пластини, що знижує ймовірність дефектів і покращує калібр готових напівпровідникових пристроїв.

Ефективність хімічного потоку та обробки

Щоб мінімізувати плями, що захоплюють матеріал, і максимізувати динаміку хімічного потоку, розроблено горизонтальні касети для пластин. Щоб покращити хімічний потік і гарантувати повне покриття та ефективну обробку в хімічних ваннах, можна додати ряд додаткових функцій.

Безпечне транспортування та вирівнювання пластин

Конструкція горизонтальної вафельної касети характеризується точним вирівнюванням пластин, що гарантує надійне утримання пластин під час транспортування. Це зменшує ймовірність поломки або зміщення, що може призвести до дорогих дефектів або затримок у процесі. Поводження з пластинами має здійснюватися безпечно, щоб зберегти цілісність процесу виробництва напівпровідників.

Ефективність робочого процесу та ергономіка

Горизонтальні вафельні касети прості у використанні та ефективні завдяки ергономічному дизайну, який спрощує процедуру завантаження та вивантаження. У налаштуваннях чистих приміщень ця простота використання покращує ефективність робочого процесу, забезпечуючи ефективніші процеси та скорочуючи час обробки. Виробники напівпровідників можуть підвищити ефективність і підтримувати суворі стандарти чистоти, спростивши ці процедури.