Інжектор запалювання

Інжектор запалювання Semicorex, або кварцовий реактор запалювання,-це інженерний компонент, призначений для забезпечення хімічних процесів високої чистоти, які потребують запалювання або ініціації реакції. Зроблений з злитого кварцу, інжектор запалювання поєднує в собі найкращі властивості плавленого кварцу (термічна стійкість, хімічна стійкість та толерантність до структурних неточностей) для забезпечення передбачуваного використання в напівпровідникових та дослідницьких додатках. Використання інжектора запалювання є важливим у тих процесах, які дозволяють запалювати пари газів або реактивні сполуки, не мають можливості забруднення, щоб забезпечити безпеку та точність в екстремальних застосуванні.

Кварц був обраний для інжектора запалювання на тій підставі, що кварц забезпечує найвищі рівні чистоти та інертності як матеріал. Метали та звичайна кераміка можуть мати високу чистоту, але вони не є інертними і можуть вводити сліди слідів, тому важко проводити чутливі процеси без можливості забруднення або змінювати аналітичні спостереження. Кварц широко розцінюється як ідеальний матеріал, коли термічний удар можна переносити, особливо для середовищ запалювання, де швидкі зміни температури можна очікувати через несподівані умови запалювання. Не менш важливий; Кварц пережив агресивні хімічні речовини, щоб запобігти втручанню або пошкодженню через корозійні гази або енергію від реакції в середовищі тривалого використання.

Інжектор запалювання призначений для того, щоб служити локалізованою зоною реакції, забезпечуючи чисте та контрольоване середовище для створення спалювання або реакцій на основі плазми. Це корисно в напівпровідниковому виробничому секторі, де реакторам запалювання може знадобитися активувати гази-попередники, розкладати складні хімічні види або ініціювати етапи очищення, що сприяють плазмі. Чистота стінок реактора гарантує, що небажані вторинні реакції між камерою та реагентами можуть негативно впливати на реакцію і, таким чином, можуть забезпечити точний контроль хімічної реакції. Оптична прозорість кварцу забезпечує можливості оптичного моніторингу в режимі реального часу для спостереження за зоною реакції, абсолютно незахищеними, що вигідно в експериментальній роботі чи виробництві.

Поряд з хімічними та тепловими елементами, інжектор запалювання надає перевагу через його полегшення в точно виготовлених об'єктах. Оскільки компонент виробляється розмірами з високим толеранцем, він також може легко вписуватися в реактори та інтегруватися з існуючими системами або бути зробленим, щоб бути відповідним для розташування для певного інструменту чи інструментів. Непоручні гладкі поверхні внутрішнього кварцового реактора корисні для зменшення прикріплення частинок для легкого очищення, оскільки шари матеріалу, прикріплених до внутрішніх поверхонь камери, будуть послідовними циклом після циклу через повторне використання компонента. Це допомагає зменшити витрати та підвищити ефективність процесів, що дуже стосується операцій з високим обсягом виробництва.