Внутрішня напрямна труба

Внутрішня направляюча трубка Semicorex є прецизійною технікоювуглець/вуглець (C/C) компонентпризначений для передових застосувань у високотемпературному тепловому полі, зокрема для вирощування кристалів кремнію високої чистоти. Як важливий елемент у печах для вирощування кристалів, цей компонент відіграє центральну роль у формуванні та стабілізації теплового градієнта, забезпечуючи оптимальне утворення кристалів і незмінну якість матеріалу.

Виготовлена ​​з вуглецевого композиту високої щільності, армованого вуглецевим волокном, внутрішня напрямна труба забезпечує виняткову структурну цілісність і термічну стабільність в екстремальних умовах. Завдяки щільності ≥1,35 г/см³ і міцності на вигин ≥110 МПа він зберігає механічну міцність навіть під час тривалого впливу підвищених температур. Ці властивості є важливими у виробництві напівпровідникового кремнію, де навіть незначні коливання теплових умов можуть суттєво вплинути на однорідність кристала та кількість дефектів.

Основні функції: точне керування градієнтом

Основна роль внутрішньої направляючої трубки C/C полягає у створенні точного поля градієнта температури. Під час процесу росту кристалів кремнію його розташовують безпосередньо над розплавом, щоб:

Прямий потік газу: він направляє потік інертного газу аргону, забезпечуючи ефективне видалення парів оксиду кремнію (SiO) з поверхні розплаву, запобігаючи забрудненню кристала киснем.

Теплове екранування: воно захищає зростаючий кристал від прямого теплового випромінювання від стінок тигля, встановлюючи крутий осьовий температурний градієнт, необхідний для високошвидкісного високоякісного витягування кристала.

Енергоефективність: за рахунок концентрації тепла в зоні розплаву та ізоляції верхніх компонентів печі це значно знижує загальне споживання електроенергії.

Технічні характеристики та якість матеріалів

Наші внутрішні напрямні труби виготовляються з використанням високої щільностіВуглець/вуглецеві композити, забезпечуючи чудову альтернативу традиційному графіту. Властивості матеріалу оптимізовані для екстремальних умов напівпровідникових вакуумних печей:

Щільність: ≥ 1,35 г/см³

Міцність на вигин: ≥ 110 МПа

Коефіцієнт теплового розширення (CTE): ≤ 1,0 × 10⁻⁶ /K

Теплопровідність (кімнатна температура): ≤ 10 Вт/(м·K)

Промисловість

У міру того, як промисловість рухається до більших розмірів пластин (300 мм і 450 мм), вимоги до теплового поля експоненціально зростають. Наші внутрішні напрямні труби сумісні з основними марками печей CZ і можуть бути налаштовані з точки зору геометрії та покриття.