Покриття в тепловому полі монокристалів напівпровідникового кремнію

Частини з покриттям у напівпровідниковому монокристалі кремнію в гарячому полі зазвичай покриваються методом CVD, включаючи піролітичне вуглецеве покриття,Покриття з карбіду кремніюіПокриття з карбіду танталу, кожна з яких має різні характеристики.

Загальні моменти: підкладкою є ізостатичний графіт високої чистоти, зазвичай менше 5 ppm золи; покриття використовуються методом CVD; покриття в основному складається з 100% вуглецю або карбіду кремнію; після покриття поверхня відносно щільна, газ, особливо пари кремнію або газ оксиду кремнію, можуть бути в основному заблоковані; випаровуваність власного пилу також дуже мала.

Відмінності: стандартна товщина покриття, піролітичне вуглецеве покриття зазвичай становить близько 40 мкм; Покриття з карбіду кремнію, як правило, робиться приблизно 100 мкм, але відповідно до різних потреб клієнтів можна зробити 30 мкм ~ 150 мкм, включаючи одне покриття та два покриття; покриття з карбіду танталу зазвичай становить 35±15 мкм.

Піролітичне вуглецеве покриття, його щільність еквівалентна щільності непористого графіту, що становить приблизно 2,2. Він має низький питомий опір і високу теплопровідність у паралельному напрямку поверхні, тому він може підтримувати сталість температури поверхні, а також має низький коефіцієнт теплового розширення та високий модуль пружності. У перпендикулярному напрямку поверхні коефіцієнт теплового розширення більший, а теплопровідність нижча.

Для виробів із покриттям із карбіду кремнію модуль пружності покриття дуже високий, у десятки разів перевищує модуль пружності внутрішньої графітової підкладки, тому, щоб уникнути розриву виробу, поводьтеся з ним обережно.

Піролітичне вуглецеве покриття та покриття з карбіду кремнію вміст домішок становить менше 5 ppm, де вміст основного металевого елемента становить менше 0,1 або 0,01 ppm, важче впоратися з елементом бору 0,01 або 0,15 ppm.

Semicorex пропонує високоякісний CVD-покриття для напівпровідників з індивідуальним обслуговуванням. Якщо у вас є запитання або вам потрібна додаткова інформація, будь ласка, не соромтеся зв’язатися з нами.

Контактний телефон +86-13567891907

Електронна адреса: sales@semicorex.com