Виробництво напівпровідників, наріжний камінь сучасного технологічного прогресу, постійно шукає менші, швидші та ефективніші інтегральні схеми. Це невпинне прагнення викликає потребу у все більш точних і складних виробничих процесах, де кожен крок значною мірою залежить від високопродуктивного, висо......
ДетальнішеЕлектростатичні патрони (ESC) стали незамінними у виробництві напівпровідників і дисплеїв з плоскими панелями, пропонуючи безпечний, добре керований метод утримання та позиціонування делікатних пластин і підкладок під час критичних етапів обробки. Ця стаття заглиблюється в тонкощі технології ESC, до......
ДетальнішеРозробка 3C-SiC, значного політипу карбіду кремнію, відображає безперервний прогрес науки про напівпровідники. У 1980-х роках Nishino та ін. вперше досяг плівки 3C-SiC товщиною 4 мкм на кремнієвій підкладці за допомогою хімічного осадження з парової фази (CVD)[1], заклавши основу для технології тонк......
Детальніше