Композитні обігрівачі PBN

Композитні обігрівачі Semicorex PBN об'єднують чудову теплопровідність піролітичного графіту з хімічною інертністю та електричною ізоляцією піролітичного нітриду бору. Ці обігрівачі побудовані з дуже високого графіту чистоти та PBN, який застосовується за допомогою високоякісного процесу CVD (хімічного осадження пари) в умовах осадження високої чистоти. Кожен окремий рівень досягнення був осаджений з дуже екстремальною керованою для забезпечення ультрасвисокої чистоти та послідовних теплових властивостей. Графітове ядро, яке забезпечує швидке та рівномірне нагрівання протягом усього, захищається від окислення та забруднення капсулою PBN; Це робить нагрівач ідеальним для вакуумних газових середовищ та інертних газових умов. Ці нагрівачі PBN цілеспрямовано розроблені для використання в реакторах MBE (молекулярна епітаксія променя), реакторах ССЗ та інших систем росту кристалів.

Композитний обігрівач нітрид-піролітичного графіту піролітичного бору (PBN-PG)-це нагрівач, який використовує високоізоляційну PBN в якості субстрату і використовує хімічне осадження термічного розкладання низького тиску та високу температуру, щоб покрити електропровідний PG. Основними компонентами цього композитного нагрівача є піролітичний нітрид бору (PBN) та піролітичний графіт (PG). Завдяки відмінній стійкості до корозії та високій температурі, він в основному використовується для нагріву напівпровідникового підкладки (використовується в MBE, MOCVD, покритті на розпилення тощо); нагрівання суперпровідника; Нагрівання зразків під час аналізу зразків; нагрівання зразків електронного мікроскопа; металеве нагрівання; Джерело опалення металу тощо.

Обігрівачі PBN можуть витримати робочу температуру до 1600 ° C у вакуумі та мати покращену здатність протистояти тепловому шоку над будь -якими альтернативами на основі металу, на які ви будете покладатися. Поверхня нагрівача надзвичайно гладка і щільна і виробляє значно менше частинок під час роботи, що є критично важливим для застосувань, де забруднення неможливо переносити, наприклад, напівпровідникові вафлі.

Композитна структура забезпечує чудову теплову рівномірність по всій поверхні нагрівача, і його резистивні шляхи можна налаштувати, щоб забезпечити індивідуальний розподіл тепла. Ця конструкція дозволяє швидко збільшити та розібрати цикли під час переробки без розтріскування та розшарування через ті ж коефіцієнти теплового розширення використовуваних матеріалів. Електроди здатні витримати безперервну роботу високого струму, а також сумісні у вакуумі.

Semicorex забезпечує необмежену гнучкість дизайну для унікальних форм, розмірів та вимог до потужності, коли це необхідно, для задоволення конкретних потреб у застосуванні; Незалежно від стандартних розмірів вафель, або більш складних геометріях, ми гарантуємо розмірну точність та теплову рівномірність у кожній виробленій одиниці.

Композитні обігрівачі PBN ідеально підходять для надочищних програм, включаючи:

• Системи MBE для напівпровідникової обробки сполуки III-V та II-VI
• Системи вакуумного покриття для оптичних компонентів
• Системи росту кристалів для сапфіру та SIC
• Теплова обробка високої чистоти для лабораторних середовищ дослідницьких та розробок.