PBN Crucibles

Піролітичний бороновий нітрид борону PBN PBN-це точні інженерні компоненти, розроблені для задоволення суворої потреби високотемпературних та надвимірних процесів у галузях, таких як виробництво напівпровідників, зростання кристалів та вакуумні застосування. Вироблений через процес хімічного осадження пари (CVD), PBN Crucibles пропонує чудову чистоту, виняткову термічну стійкість та видатну хімічну інертність, що робить їх матеріалом вибору в передових матеріалах.

Оскільки нітрид бору має коефіцієнт теплового розширення, порівняний з кварцу, але його теплопровідність в 10 разів більше, ніж у останньому, він має відмінну стійкість до теплового удару, що може знизити ризик розтріскування через швидкі зміни температури, і його можуть бути циклічні кілька разів у 20 ~ 1200 ℃ без проблем. Крім того, нітрид бору не реагує з кислотами, лугами, склом та більшістю металів і має низьку механічну міцність, лише трохи вище, ніж графіт, але не пом'якшується під навантаженням при високих температурах і може бути оброблений загальними металевими машинами. Тому він дійсно підходить для використання як тигель, судно, труба для доставки рідких металів та цвілі для лиття сталевого лиття для плавлення та випаровування металів.

Зазвичай він виготовляється шляхом хімічного осадження пари з використанням газу, що містить бор (BCL3 або B2H6) як сировини, але оскільки B2H6 є високотоксичним, BCL3 в даний час використовується як сировина. Газ, що містить бори, зазнає піролізу (1500 ~ 1800 ℃) і реагує з NH3 у високотемпературній реакційній камері з утворенням твердого бору нітриду. Оскільки піроліз виникає під час реакції, його також називаютьпіролітичний бороновий нітридтигель (загальновідомий як PBN Crucibles).

Процес росту матеріалу схожий на "падіння снігу", тобто шестикутні сніжинки BN, вирощені в реакції, постійно складаються на нагрітому графітовому субстраті (ядра форми). З плином часу шар накопичення потовщується, утворюючи оболонку PBN. Демольтинг - це незалежний, чистий компонент PBN, і покриття PBN залишається на ньому. Оскільки PBN Crucibles не потрібно проходити через традиційний процес спікання гарячого пресування і не потрібно додавати жодного агента, що успадковує, він має дуже високу чистоту (більше 99,99%), а робоча температура в вакуумі становить до 1800 градусів, а робоча температура за захистом атмосфери може досягати до 2100 ° C (зазвичай нітр або аргування). Він в основному використовується в епітаксії випаровування/молекулярного променя (MBE)/GaAs Crystal та інших цілей.