Електростатичний патрон PBN

Властивості матеріалуPBNЕлектростатичний патрон

Стійкість до високих температур і діелектрична міцність

ThePBNЕлектростатичний патрон відомий своєю винятковою високотемпературною стійкістю, яка є ключовою в процесі виробництва напівпровідників. Піролітичний нітрид бору (PBN), матеріал, який використовується для виготовлення патрона, демонструє більший питомий опір, ніж більшість широко використовуваної кераміки, що має вирішальне значення для підтримки зусилля патрона Джонсена-Рабека (J-R) до температур 1050°C. Цей високий питомий опір у поєднанні з його високою діелектричною міцністю гарантує ефективне запобігання електричного пробою навіть при сильному нагріванні, тим самим підвищуючи надійність роботи патрона.

Теплова однорідність і ударостійкість

Гексагональна гратчаста структура PBN, отримана шляхом хімічного осадження з парової фази при температурах, що перевищують 1500°C, сприяє його видатній термічній однорідності та стійкості до ударів. Нагрівальні елементи високої щільності всерединіPBNЕлектростатичний патрон дозволяє досягти постійного теплового профілю пластини з хорошою рівномірністю 1,1–1,5% при температурах 600–800°C. Крім того, патрон на основі PBN демонструє надзвичайну стійкість до термічного удару та меншу термічну масу, що дозволяє досягати 600°C зі швидкою швидкістю 23°C/сек без ризику розтріскування чи розшарування.

Настроюване багатозонне опалення

Електростатичний патрон PBN можна налаштовувати, він має багатозональний нагрів, що дозволяє максимально контролювати температуру. Цей рівень налаштування гарантує, що кожен патрон можна адаптувати відповідно до конкретних вимог окремих клієнтів, забезпечуючи гнучке рішення для різних застосувань обробки напівпровідників.

ЗастосуванняPBNЕлектростатичний патрон

Іонна імплантація та робота з пластинами

Електростатичний патрон PBN є кращим пристроєм для обробки пластин у процесах іонної імплантації. Його здатність утримувати пластини при температурах понад 1000°C робить його одним із найбільш універсальних електростатичних патронів на ринку. Цю універсальність додатково посилює його здатність підтримувати пластини в дуже вузьких діапазонах температур завдяки багатозонним нагрівальним елементам високої щільності.

Імплантація іонів карбіду кремнію

У конкретному застосуванні імплантації іонів SiC,PBNЕлектростатичний патрон пропонує життєздатне рішення для проблем нагрівання та транспортування пластин. Його двофункціональні можливості, які включають високу силу затиску, високу потужність нагріву, хорошу термічну однорідність і швидку реакцію, роблять його ідеальним вибором для вирішення складних вимог іонної імплантації SiC.

Виробництво напівпровідників

Електростатичний патрон PBN відіграє вирішальну роль у виробництві напівпровідників, де важливі точне поводження з пластинами та контроль температури. Його висока стійкість до термічного удару та здатність до швидкого підвищення температури роблять його придатним для передових напівпровідникових процесів, які вимагають суворого керування температурою та швидкого термоциклування.