PBN нагрівач

Піролітичний бороновий нітрид, який нагрівач нітриду бору PBN-це високоочистий, високоефективний нагрівальний компонент, призначений для вимогливих застосувань, де надолькі, хімічно стабільні та термічно ефективні матеріали є важливими. Виготовлений через процес хімічного осадження пари (ССЗ), PBN виявляє виняткову теплопровідність, високотемпературну стійкість та видатну хімічну інертність, що робить його ідеальним вибором для переробки напівпровідників, росту кристалів та вакууму.

Нагрівач PBN-це нагрівач, який використовує високоізоляційний PBN як субстрат і використовує хімічне осадження термічного розкладання низького тиску для покриття електропровідного ПГ при низькому тиску (нижче 10TORR) та високої температури. Основними компонентами цього композитного нагрівача є піролітичний нітрид бору (PBN) та піролітичний графіт (PG). Завдяки відмінній стійкості до корозії та високій температурі, він в основному використовується для нагріву напівпровідникового підкладки (використовується в MBE, MOCVD, покритті на розпилення тощо); нагрівання суперпровідника; Нагрівання зразків під час аналізу зразків; нагрівання зразків електронного мікроскопа; металеве нагрівання; Джерело опалення металу тощо.

PBN інертний для корозійних газів; має високу чистоту (більше 99,99%); не мокрий і не реагує на більшість розплавлених металів (він має характеристики антипригарної каструлі, а метал можна використовувати на 100%); має хорошу високотемпературну стійкість (максимальна робоча температура становить 2000 ℃); хороша щільність; Хороша стійкість до теплового удару та інші чудові властивості роблять його ідеальним матеріалом для приготування композитних обігрівачів PBN-PG. PG можна швидко нагрівати до 1600 ℃ (в інертній атмосфері та під вакуумом) у нагрівачі PBN. У той же час, у поєднанні з хорошою теплопровідністю PBN, нагрівальна поверхня має хорошу однакову теплоту. З швидким розвитком суміжних галузей, попит на композитні обігрівачі PBN-PG також швидко зросла.

Обігрівачі PBN можна виготовити в різних формах та конфігураціях для задоволення конкретних вимог до проектування та інтеграції. Типові конструкції включають плоскі обігрівачі, трубчасті обігрівачі та спеціальні геометрії з вбудованими або поверхневими нагрівальними елементами. Нагрівальні елементи зазвичай виготовляються з піролітичного графіту (PG) і інкапсульовані в PBN, забезпечуючи повністю герметичну, електрично ізоляційну та термічно ефективну структуру.