Сонячний графітовий човен PECVD

НапівкорексPECVD сонячні графітові човнипрецизійно виготовлені з високочистихізостатичний графіт. Кожний сонячний графітовий човен PECVD від Semicorex проходить точну механічну обробку, перевірку розмірів і випробування електричних характеристик для забезпечення стабільної роботи у високотемпературному плазмовому середовищі.

Під час обробки PECVD сонячний графітовий човен PECVD переносить кремнієві пластини в реакційну камеру PECVD і служить електродом, підключеним до радіочастотного джерела живлення. Коли між сусідніми пластинами човна подається змінна напруга, виникає електричне поле. Під впливом електричного поля реактивні гази (такі як силан SiH₄ і аміак NH3) піддаються тліючому розряду та генерують плазму. Іони та вільні радикали в плазмі розкладають гази-попередники, утворюючи іони кремнію (Si) і азоту (N). Ці іони об’єднуються, утворюючи молекули нітриду кремнію (Si₃N₄), які потім осідають на поверхні кремнієвої пластини, утворюючи тонкі плівки.

1. Виняткова термічна стабільність

З коефіцієнтом теплового розширення, близьким до кремнієвих пластин, SemicorxPECVD сонячний графітовий човензазнає незначної зміни розмірів під час нагрівання, що надійно запобігає пошкодженню пластин, спричиненому термічною напругою.

2. Чудова електро- та теплопровідність

Сонячні графітові човни Semicorex PECVD мають чудову електропровідність, забезпечуючи швидке проведення радіочастотного струму та рівномірний розподіл електричного поля, що є корисним для стабільного генерування плазми та рівномірного осадження кремнієвих пластин. Крім того, його чудова теплопровідність сприяє швидкому охолодженню та нагріванню, підвищуючи ефективність виробництва, одночасно запобігаючи впливу локального перегріву на якість осадження.

3. Сильна хімічна стабільність

Завдяки використанню матеріалу преміум-класу, сонячний графітовий човен Semicorex PECVD менш схильний до реакції з реактивними газами та плазмою. Ця характеристика значною мірою запобігає нерівномірному розподілу електричного поля, спричиненому корозією, деформацією або осадженням домішок у графітовому човні, таким чином забезпечуючи стабільність процесу осадження та якість поверхні кремнієвих пластин.

4. Видатна механічна міцність

Завдяки своїй видатній механічній міцності сонячний графітовий човен Semicorex PECVD може легко витримати вагу великих об’ємів пластин. Вони можуть тривалий час витримувати механічні навантаження, що виникають під час завантаження та транспортування, не деформуючись і не руйнуючись.

5. Відмінна консистенція розмірів

Човен із сонячним графітом Semicorex PECVD забезпечує виняткову точність розмірів усіх компонентів завдяки прецизійній механічній обробці. Він утримує кремнієву пластину у фіксованому положенні під час осадження, що забезпечує рівномірне осадження та сумісність з автоматизованим виробництвом.