Власні носії PFA

Semicorex PFAВафельні носіїє високоефективними носіями, розробленими для безпечного поводження, зберігання та транспортування напівпровідникових вафель у надклішному середовищі. Виробництво передових напівпровідників гарантує, що носії вафельних виробів PFA пропонують неперевершену хімічну стійкість, термічну стійкість та контроль частинок від цілісності та чистоти вафель під час виготовлення до остаточного тестування.

Ці вафельні носії, виготовлені з нових ПФА, демонструють велику стійкість до суворих хімічних речовин, таких як сильні кислоти, основи та розчинники, які зазвичай використовуються для очищення та травлення. Дуже низькі властивості вилуговування та виховування іонів PFA роблять його кращим матеріалом для важливих завдань з чистої кімнати, де навіть крихітна кількість забруднень може впливати на врожайність пристроїв.

Перевізники вафельних виробів PFA виготовляються в чистих приміщеннях і працюють із класом 1 (ISO клас 3) чистими стандартами номера. Гладка, антипригарна поверхня PFA мінімізує генерацію частинок і адгезію, запобігаючи забрудненню залишків або твердих частинок. Крім того, гідрофобна природа PFA полегшує ретельне промивання та швидке висихання, що ще більше знижує ризик перехресного забруднення під час етапів мокрої обробки.

Кожен вафельний носій PFA точно зроблений, щоб переконатися в безпеці та навіть підтримці вафель під час переїзду та утримання. Гроні прорізи допомагають вафлям з невеликим контактом, зменшити стрес і відколювати по краях вафель. Перевізники поставляються у багатьох формах, щоб відповідати різним розмірах вафель, до яких належать 100 мм, 150 мм, 200 мм та діаметри 300 мм. Необов’язкові вершини та тісні способи блокування надають додаткову безпеку проти шоку для виробів, вібрації та впливу навколишнього середовища.

Через відмінну теплову стійкість PFA до 260 ° C він сумісний з високотемпературними процесами, такими як дифузія, окислення та СВД хімічного осадження пари. Перевізник зберігає свою структурну цілісність при повторному тепловому циклічному русі і тому підходить як для партії, так і для автоматизованих середовищ обробки.

Перевізники вафельних виробів PFA мають широке застосування в очищенні пластини, мокрому травленні, фотолітографії CMP та інших процесах переднього та заднього кінця у виготовленні ІС. Їх надійна конструкція та чистота роблять їх ідеальними для використання у FABS, НДДКР та обладнання OEM, що вимагають суворого протоколів контролю забруднення.

ІндивідуальнийВласні носії PFAМоже бути розроблено для задоволення конкретних вимог до автоматизації, включаючи робототехнічну обробку, системи треку та вертикальний/горизонтальний транспорт. Перевізники повністю сумісні зі стандартним обладнанням для обробки вафель та інструментами виготовлення напівпровідників.