Касети Semicorex PFA-це носії з високою чистотою, розроблені для забезпечення безпечної та без забруднення обробки напівпровідникових вафель під час мокрої обробки, зберігання та транспорту. Вибір Semicorex гарантує не тільки чудову якість матеріалу PFA, але й точну інженерію, яка забезпечує надійність, чистоту та довгострокову продуктивність у вдосконалених умовах виготовлення.*
Касети Semicorex PFA - це інженерні носії, розроблені для безпечного поводження, зберігання та передачі напівпровідникових вафель у вдосконалених програмах виготовлення. Ці касети побудовані з полімеру з високою чистотою перфтороалккси (PFA) і представляють хімічну стійкість, теплову стійкість та механічну міцність, необхідні при мокрому очищенні, хімічній обробці та перевезенні вафельних перевезень. Вафри залишаються захищеними від забруднення, механічних пошкоджень та хімічної атаки в критичних етапах транспортування вафель у процесі виготовлення напівпровідників.
Використання PFA як основного матеріалу для цих вафельних касет є суттєвою зміною від традиційних полімерних носіїв. PFA має чудову стійкість до багатьох агресивних кислот, основи та розчинників, поширених на етапах очищення вологих процесів (тобто очищення RCA, SC1, SC2), як правило, пов'язані з виготовленням напівпровідників. Хімічна інертність ПФА гарантує, що вафлі не піддаються забрудненню, що протікає від самого носія, тому дефекти не виникають через відсутність цілісності процесу. Крім того, можливість витримати високі температури дозволяє касетам підтримувати процеси, що включають гарячі хімічні ванни або гарячі ультраустрічі водні полоскання зі стабільними та надійними продуктивністю.
Касети для вафель PFAрозробляються з точними гладкими поверхнями, які теж не є впорними, щоб мінімізувати дотримання частинок і дозволити очищення. Касети вафель досягають високих рівнів чистоти на сьогоднішніх FABS, де навіть забруднення субмікрону може призвести до втрати врожаю або відмови пристрою. Тип гладких внутрішніх контурів зменшує подряпин делікатних вафельних поверхонь і дозволяє впорядкованим осушенню рідин після вологих переробки, щоб запобігти суспензії хімічних залишків, що залишилися на вафлях, одночасно збільшуючи консистенцію процесу та зменшують потребу в очищенні.
Додатковою основною перевагою касет для вафель PFA є розмірна точність та структурна стабільність. Процес виготовлення касети вимагає більш жорстких допусків, ніж зазвичай очікується, що дозволяє касеті міцно утримувати вафлі таким чином, щоб не було небажаного зміщення або небажаного контакту вафель під час передачі. Касети - це позиція або представлена послідовно, будь то для ручної обробки чи під час автоматизованих транспортних систем вафель. Касети для вафельних виробів PFA точно відповідатимуть стандартним фізичним проривам, пов’язаним із галузевими стандартними системами обробки вафель та транспортуванням. Довга і корисна надійність послуг, пов'язана з касетами вафельних виробів PFA, збільшує значення інвестицій, оскільки PFA може витримати повторно після повторного хімічного, термічного велосипедного та механічного впливу.
Касети для вафельних виробів PFA - це цінні активи не лише у вологій хімічній обробці для захисту вафель, а для зберігання та транспортування. Вони побудовані з інертними матеріалами, щоб підтримувати чистими вафлями під час процесу охолодження, а їх довговічність повинна обмежувати поломки та крайові стружки від упаковки та транспорту. Касети для вафельних виробів PFA важливі для напівпровідникових FAB, а також дослідницьких лабораторій, фотоелектричного виробництва та інших галузей, що потребують високої чистоти.
Касети для вафель PFAТакож приносять сприятливу стійкість та вартість за використання. Будівельні матеріали є стійкими до хімічної атаки та прості в очищенні, щоб вони були багаторазовими, знижуючи відходи та одноразові матеріали та заохочують повторне використання для зменшення довгострокових операційних витрат. Відзначаючи загальний розрив пластину, коли відбувається забруднення, зменшення подій забруднення та втрата вафель збільшать урожай та зменшить дефектність. Втрата врожайності та підвищення дефектності полотна є основними факторами онтології щодо конкурентоспроможності напівпровідникової операції.