Продукти

Трикомпонентні графітові тиглі Semicorex — це високоефективні контейнери з розділеного графіту, спеціально розроблені для процесів вирощування монокристалів кремнію. Трикомпонентний графітовий тигель Semicorex, який ідеально підходить для термічної обробки високоякісних напівпровідників, може надійно підтримувати кварцовий тигель і його внутрішні матеріали для досягнення контрольованого зростання монокристалічних структур.

Труби печі з карбіду кремнію Semicorex — це високоефективні компоненти SiC, спеціально розроблені для високотемпературних початкових процесів у передовій напівпровідниковій промисловості. Завдяки своїй винятковій продуктивності труби для печей з карбіду кремнію Semicorex можуть витримувати суворі робочі середовища з екстремальними температурами, корозійними газами та різкими температурними коливаннями.

Вафельні човни Semicorex CVD із SiC-покриттям — це високоточні керамічні інструменти для перенесення, виготовлені з карбіду кремнію надвисокої чистоти, що відрізняються високою надійністю, чудовою чистотою та подовженим терміном служби. Служачи ідеальним рішенням для термічної обробки пластин, пластини Semicorex CVD з SiC-покриттям можуть забезпечити безпечне та стабільне розміщення пластин під час етапів перенесення та обробки.

Semicorex Upper Electrode Grounding Ring — це компонент контролю плазми CVD SiC надвисокої чистоти, який стабілізує електричний потенціал і підтримує рівномірний розподіл плазми в передових системах травлення та осадження напівпровідників. Semicorex постачає прецизійні заземлюючі кільця CVD SiC і напівпровідникові компоненти, спрямовані до плазми, по всьому світу, пропонуючи індивідуальні розміри, електричні властивості та надійну глобальну доставку для провідних виробників напівпровідникового обладнання.*

Semicorex Etching Edge Ring — це високочистий CVD SiC-компонент, спрямований на плазму, який контролює розподіл плазми навколо краю пластини, покращуючи рівномірність травлення, точність процесу та загальну продуктивність виробництва напівпровідників. Компанія Semicorex надає виробникам напівпровідників у всьому світі передові фокусні кільця CVD SiC, кільця заземлення, душові насадки та налаштовані компоненти для контролю плазми, що підтримується точним розробкою та надійними глобальними поставками.*

Резервуари для очищення кварцових пластин Semicorex, виготовлені з високочистих кварцових матеріалів, є незамінними компонентами, спеціально розробленими для вологого очищення пластин у виробництві високоякісних напівпровідників. Як провідна компанія в Китаї, Semicorex прагне надавати клієнтам стабільно ефективні та економічно ефективні кварцові рішення.