Носій Semicorex із покриттям SiC для системи плазмового травлення ICP є надійним і економічно ефективним рішенням для процесів обробки високотемпературних пластин, таких як епітаксія та MOCVD. Наші носії мають тонке кристалічне покриття SiC, яке забезпечує чудову термостійкість, рівномірну теплову однорідність і тривалу хімічну стійкість.
ДетальнішеНадіслати запит