Носій епітаксійних пластин GaN-on-SiC

Semicorex є провідним незалежним виробником графіту з покриттям з карбіду кремнію, прецизійно обробленого графіту високої чистоти, який зосереджується на графіті з покриттям з карбіду кремнію, кераміці з карбіду кремнію та MOCVP у сферах виробництва напівпровідників. Наш епітаксіальний носій для пластин GaN-on-SiC має хорошу цінову перевагу та охоплює багато європейських та американських ринків. Ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.

Надіслати запит

Опис продукту

Semicorex SiC Coating of GaN-on-SiC Epitaxial Wafers Carrier — це щільне, зносостійке покриття з карбіду кремнію (SiC). Має високі корозійні та термостійкі властивості, а також чудову теплопровідність. Ми наносимо SiC тонкими шарами на графіт за допомогою процесу хімічного осадження з газової фази (CVD).
Наш епітаксіальний пластинчастий носій GaN-on-SiC розроблений для досягнення найкращої ламінарної моделі потоку газу, забезпечуючи рівномірність теплового профілю. Це допомагає запобігти будь-якому забрудненню або дифузії домішок, забезпечуючи високоякісне епітаксійне зростання на чіпі пластини.
Зв’яжіться з нами сьогодні, щоб дізнатися більше про наш епітаксіальний носій пластин GaN-on-SiC.

Параметри носія епітаксійної пластини GaN-on-SiC

Основні характеристики покриття CVD-SIC
Властивості SiC-CVD
Кристалічна структура	FCC β фаза
Щільність	г/см³	3.21
Твердість	Твердість за Віккерсом	2500
Розмір зерна	мкм	2~10
Хімічна чистота	%	99.99995
Теплоємність	Дж кг-1 К-1	640
Температура сублімації	℃	2700
Згинальна сила	МПа (RT 4 точки)	415
Модуль Юнга	Gpa (вигин 4 точки, 1300 ℃)	430
Теплове розширення (C.T.E)	10-6К-1	4.5
Теплопровідність	(Вт/мК)	300

Особливості носія епітаксійних пластин GaN-on-SiC

- Уникайте відшаровування та забезпечте покриття на всій поверхні
Стійкість до високотемпературного окислення: стабільна при високих температурах до 1600°C
Висока чистота: виготовлено методом CVD хімічного осадження з парової фази в умовах високотемпературного хлорування.
Стійкість до корозії: висока твердість, щільна поверхня і дрібні частинки.
Стійкість до корозії: кислоти, луги, солі та органічні реагенти.
- Досягнення найкращої ламінарної моделі потоку газу
- Гарантія рівності теплового профілю
- Запобігайте будь-якому забрудненню або дифузії домішок