Лоток для вафель

Semicorex надає напівпровідникову кераміку для ваших OEM-інструментів для напівфабрикатів і компонентів обробки пластин, зосереджуючись на шарах карбіду кремнію в напівпровідниковій промисловості. Ми є виробником і постачальником лотків для вафель протягом багатьох років. Наш лоток для вафель має хорошу цінову перевагу та охоплює більшість європейських та американських ринків. Ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.

Надіслати запит

Опис продукту

Не лише для етапів осадження тонких плівок, таких як епітаксія чи MOCVD, або для обробки пластин, Semicorex постачає надчистий керамічний носій, який використовується для підтримки пластин. В основі процесу лежить лоток для вафель для MOCVD, який спочатку піддається осадженню, тому він має високу термостійкість і стійкість до корозії. Носій, покритий SiC, також має високу теплопровідність і відмінні властивості розподілу тепла.
Зв’яжіться з нами сьогодні, щоб дізнатися більше про наш лоток для вафель.

Параметри лотка для вафель

Технічні властивості
Індекс	одиниця	Значення
Назва матеріалу		Реакційний спечений карбід кремнію	Спечений без тиску карбід кремнію	Перекристалізований карбід кремнію
Композиція		RBSiC	SSiC	R-SiC
Насипна щільність	г/см3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Міцність на згин	МПа (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C) 90-100 (1400°C)
Міцність на стиск	МПа (kpsi)	1120(158)	3970 (560)	> 600
Твердість	Кнопка	2700	2800	/
Порушення наполегливості	МПа м1/2	4.5	4	/
Теплопровідність	Вт/м.к	95	120	23
Коефіцієнт теплового розширення	10^-6.1/°C	5	4	4.7
Питома теплоємність	Джоуль/г 0k	0.8	0.67	/
Максимальна температура повітря	℃	1200	1500	1600
Модуль пружності	Gpa	360	410	240

Різниця між SSiC і RBSiC:

1. Процес спікання відрізняється. RBSiC має просочувати вільний Si в карбід кремнію при низькій температурі, SSiC утворюється природною усадкою при 2100 градусах.

2. SSiC має більш гладку поверхню, вищу щільність і вищу міцність, для деяких ущільнювачів із суворішими вимогами до поверхні SSiC буде кращим.

3. Різний час використання за різного PH і температури, SSiC довше, ніж RBSiC

Особливості лотка для вафель

- CVD покриття з карбіду кремнію для збільшення терміну служби.
- Теплоізоляція з високоефективного очищеного твердого вуглецю.
- І графітова підкладка, і шар карбіду кремнію мають високу теплопровідність і відмінні властивості розподілу тепла.
- Графіт високої чистоти та покриття SiC для стійкості до точкових отворів та довшого терміну служби

Доступні форми кераміки з карбіду кремнію:

● Керамічний стрижень / керамічний штифт / керамічний поршень

● Керамічна трубка / керамічна втулка / керамічна втулка

● Керамічне кільце / керамічна шайба / керамічна прокладка

● Керамічний диск

● Керамічна плита / керамічний блок

● Куля керамічна

● Керамічний поршень

● Керамічна насадка

● Керамічний тигель

● Інші нестандартні керамічні деталі