Semicorex RTP SiC Coating Carrier забезпечує чудову термостійкість і термічну однорідність, що робить його ідеальним рішенням для обробки напівпровідникових пластин. Завдяки високоякісному графіту з покриттям SiC, цей продукт розроблений таким чином, щоб витримувати найсуворіші умови осадження для епітаксійного росту. Висока теплопровідність і відмінні властивості розподілу тепла забезпечують надійну роботу для RTA, RTP або жорсткого хімічного очищення.
ДетальнішеНадіслати запит