Semicorex RTP/RTA SiC Coating Carrier розроблено таким чином, щоб витримувати найсуворіші умови середовища нанесення. Завдяки високій термостійкості та стійкості до корозії цей продукт розроблено для забезпечення оптимальної продуктивності для епітаксійного росту. Носій із покриттям SiC має високу теплопровідність і відмінні властивості розподілу тепла, забезпечуючи надійну роботу для RTA, RTP або жорсткого хімічного очищення.
ДетальнішеНадіслати запит