Труба кварцової печі

Трубка для кварцової печі Semicorex, пластинчасті човни, кварцові тиглі для вирощування монокристалів кремнію виготовлені з матеріалів високої чистотикварцова матеріял. Кварц широко використовується в напівпровідниковій промисловості, кварц високої чистоти є важливим витратним матеріалом у виготовленні пластин. Основним цільовим ринком кварцових деталей у галузі напівпровідників є процеси дифузії та травлення у виготовленні пластин, які можна розділити на дві основні категорії: високотемпературні та низькотемпературні деталі.

1. Високотемпературні деталі - це трубка для кварцової печі, вафельний човен, тримач для човна тощо. Вони повинні прямо чи опосередковано контактувати з кремнієвою пластиною у високотемпературному середовищі, в основному виготовлені з плавленого кварцового скляного матеріалу, виготовленого за допомогою термічної обробки.

2. Низькотемпературні деталі - це кварцові кільця в процесі травлення, включаючи касети, баки для очищення в процесі очищення. Вони в основному використовуються в низькотемпературному середовищі, які в основному виготовляються з плавленого кварцового скла, виготовленого шляхом холодної обробки.

Компоненти у високотемпературній зоні витрачаються швидше, але вони зазвичай використовуються в системах з кількома пластинами (один носій містить кілька кремнієвих пластин), а компоненти в низькотемпературній зоні витрачаються повільніше, але вони використовуються в системах з однією пластиною (один носій містить одну кремнієву пластину); тому загальний розмір ринку для обох є відносно подібним.

Піч - це зона, в якій пластини проходять процес високотемпературного нагрівання, складається з труби кварцової печі, реактора та кількох нагрівачів, вона широко застосовується в процесах дифузії, окислення, RTP у обробці напівпровідників. Топки в основному діляться на горизонтальні і вертикальні види:. У горизонтальній печі пластини поміщають на кварцовий човен, який, у свою чергу, поміщають на носій SiC. Також є адаптивні перегородки спереду та ззаду. Носій заштовхується в трубу кварцової печі, і пластини проходять реакцію в зоні постійної температури. У вертикальній печі пластини поміщають на кварцову вежу, а потім повільно піднімають у трубу кварцової печі для обробки.

Через високі температури, пов’язані з вищевказаними процесами, щоб запобігти серйозній деформації та руйнуванню труби кварцової печі після багаторазового та тривалого використання, під час виробництва слід використовувати трубу кварцової печі, яка є стійкою до деформації та руйнування та має тривалий термін служби.

Ось перевагикварцтруба печі:

1. Стійкість до високих температур. Кварцове скло має точку розм’якшення приблизно 1730 ℃ і може використовуватися протягом тривалого часу при 1150 ℃, з короткочасною максимальною температурою, що досягає 1450 ℃.

2. Стійкість до корозії. За винятком фтористоводневої кислоти, кварц високої чистоти майже не реагує хімічно з іншими кислотними речовинами. При високих температурах він може протистояти корозії сірчаної кислоти, азотної кислоти, соляної кислоти, царської горілки, нейтральних солей, вуглецю та сірки. Його кислотостійкість у 30 разів вища, ніж у кераміки та в 150 разів, ніж у нержавіючої сталі.  Його хімічна стійкість, особливо при високих температурах, не має собі рівних з жодним іншим інженерним матеріалом.

3. Хороша термічна стабільність. Кварц високої чистоти має надзвичайно низький коефіцієнт теплового розширення і може витримувати різкі зміни температури.  Нагрівання кварцу високої чистоти приблизно до 1100 ℃, а потім занурення у воду кімнатної температури не спричинить його розбивання.

4. Хороші показники пропускання світла. Кварц високої чистоти має хороші показники пропускання світла в усьому спектрі від ультрафіолетового до інфрачервоного. Коефіцієнт пропускання видимого світла становить понад 93%, а в ультрафіолетовому спектрі максимальний коефіцієнт пропускання може досягати понад 80%.

5. Хороші показники електроізоляції. Питомий опір кварцу високої чистоти в десять тисяч разів перевищує питомий опір звичайного кварцового скла, що робить його чудовим електроізоляційним матеріалом, який має хороші електричні властивості навіть за високих температур.