Кварцовий бак для вологої обробки

Кварцовий резервуар для вологої обробки, виготовлений з напівпровідникового кварцу, забезпечує виняткову довговічність і не реагує на різні хімічні речовини, включаючи сірчану кислоту (H2SO4), перекис водню (H2O2) і стандартні чисті розчини (SC1).

Одним із основних застосувань кварцового бака для вологої обробки у виробництві пластин є очищення пластин. Під час різних етапів виготовлення пластини можуть бути замасковані, щоб витравлювати певні частини або обмежити дифузію у визначених областях. Після завершення конкретного етапу процесу необхідно ретельно очистити маскувальний матеріал, щоб підготувати пластину до наступного етапу. Кварцовий резервуар для вологої обробки відіграє вирішальну роль у цьому процесі очищення, забезпечуючи ефективне очищення пластин без залишків або частинок, які можуть забруднити наступні етапи обробки.

Здатність Quartz the Tank for Wet Processing протистояти агресивним хімічним речовинам має першочергове значення для вологої обробки. Ці резервуари розроблені таким чином, щоб витримувати агресивні хімічні речовини, які використовуються в процесах травлення та очищення, не реагуючи з ними. Ця нереактивність гарантує, що хімічні речовини залишаються ефективними та не відбуваються небажані хімічні реакції, які можуть поставити під загрозу цілісність пластин.

У процесах очищення пластин важливо звести до мінімуму забруднення пластин частинками. Кварцовий резервуар Semicorex для вологої обробки розроблено для зменшення ризику забруднення, гарантуючи ретельне та ефективне очищення пластин. Наші кварцові резервуари можуть постачатися у моделях з підігрівом і рециркуляцією, що забезпечує точний контроль температури та безперервну циркуляцію миючих розчинів.

Ще одна важлива особливість Semicorex Quartz Tank for Wet Processing – висока термостійкість. Ці резервуари можуть працювати при температурах до 190°C, що підходить для процесів, які передбачають нагрівання розчинів для очищення або травлення. Висока термічна стійкість гарантує, що резервуари зберігають свою структурну цілісність і продуктивність навіть за підвищених температур. Це особливо важливо в процесах, де контроль температури є вирішальним для досягнення бажаних результатів.

Кварцовий резервуар для вологої обробки також демонструє низьке теплове розширення та високу стійкість до теплових ударів. Низьке теплове розширення мінімізує ризик розтріскування або деформації через коливання температури, забезпечуючи довговічність і надійність баків. Висока стійкість до термічних ударів дозволяє кварцовим резервуарам витримувати різкі перепади температур без шкоди для їх структурної цілісності. Ці теплові властивості є важливими для підтримки точності та надійності етапів мокрої обробки при виготовленні пластин.

Висока прозорість є ще однією перевагою Semicorex Quartz Tank for Wet Processing. Прозорість кварцового матеріалу дозволяє візуально перевіряти пластини та розчини для очищення або травлення під час обробки. Така видимість покращує контроль і моніторинг процесів, гарантуючи, що будь-які проблеми можуть бути виявлені та оперативно вирішені. Можливість візуального моніторингу процесу особливо важлива для забезпечення якості та послідовності етапів очищення та травлення пластин.

У Semicorex ми використовуємо передову технологію обробки для виробництва високоякісного кварцового бака для вологої обробки. Наші виробничі можливості включають алмазне лезо та лазерне різання за розміром, що забезпечує точні розміри та високу якість обробки. Ми також використовуємо поліровані поверхні, щоб мінімізувати ризик утворення часток і забруднення. Наші досвідчені кварцові зварювальники та машиністи створюють кварцові резервуари високої чистоти з високоміцними зварними вхідними отворами та тримачами зондів, налаштовані відповідно до конкретних потреб наших клієнтів.

Щоб підвищити продуктивність і довговічність кварцового бака для вологої обробки, ми відпалюємо їх, щоб зменшити термічний стрес. Відпал — це процес термічної обробки, який зменшує внутрішні напруги всередині кварцового матеріалу, покращуючи його стійкість до термічного удару та підвищуючи його загальну довговічність.

Спеціальні розміри та конфігурації необхідні для задоволення різноманітних вимог процесів виробництва напівпровідників. У Semicorex ми пропонуємо широкий вибір нестандартних розмірів і конфігурацій для наших кварцових баків, що дозволяє нам надавати рішення, адаптовані до конкретних потреб наших клієнтів. Ми тісно співпрацюємо з нашими клієнтами, щоб постачати кварцові резервуари, які відповідають їхнім точним специфікаціям, незалежно від того, чи йдеться про додавання високоміцних зварних кварцових впускних отворів, тримачів зондів чи інших спеціальних функцій.