Напівпровідникові кварцові дифузійні трубки

Кварцові човнизазвичай використовуються в умовах експлуатації при високій температурі, суворій хімічній корозії. Під час операції напівпровідникові пластини поміщаються в кварцову човен і вставляються в кварцову дифузійну трубку. Коли дифузійна трубка досягає необхідної температури (від кількох сотень до кількох тисяч градусів за Цельсієм), технологічні гази (наприклад, O₂, N₂, H₂, Ar) і легуючі гази (наприклад, POCl₃, BBr₃) вводяться в кварцову дифузійну трубку через газові порти для виконання окислення, дифузії та відпалу на напівпровідникові пластини. Крім того, щоб покращити однорідність і точність дифузії, деякі процеси дифузії потрібно проводити в середовищі низького тиску. 

У передових процесах виробництва напівпровідників будь-яка незначна помилка або недолік у цих процесах може призвести до збою наступних процесів. Таким чином, якість кварцових дифузійних трубок є надзвичайно важливою частиною виробництва напівпровідників і безпосередньо впливає на продуктивність і продуктивність напівпровідникових пристроїв.

Технічні характеристики Semicorex Напівпровідниковий кварц

Напівпровідникові кварцові дифузійні трубки Semicorex ретельно виготовляються з високоякіснихнапівпровідниковий кварцматеріал. Нижче наведено його конкретні параметри:

Параметри можна налаштувати відповідно до вимог замовника.

Продуктивність кварцових дифузійних трубок Semicorex Semiconductor-Grade

Покладаючись на нашу досвідчену технологію обробки та надійний вибір матеріалів, Semicorex є напівпровідникомкварцові дифузійні трубкидемонструють чудову продуктивність у складних умовах експлуатації:

1. Стійкість до високих температур

Напівпровідникові кварцові дифузійні трубки Semicorex забезпечують чудову стійкість до високих температур, що дозволяє їм стабільно працювати в середовищах з високою температурою до 1200 ℃ без будь-яких деформацій або пошкоджень.

2. Показники термічної стабільності

Маючи винятковий коефіцієнт теплового розширення, напівпровідникові дифузійні трубки Semicorex здатні протистояти тепловим навантаженням під час швидкого нагрівання або охолодження без легкого розтріскування або деформації.

3. Показники хімічної стійкості

Напівпровідникові кварцові дифузійні трубки Semicorex забезпечують чудову хімічну інертність у високотемпературних агресивних корозійних середовищах. Ця продуктивність значною мірою запобігає впливу забруднень, що утворюються в результаті їх реакції з технологічними газами, на якість пластин.