Напівпровідниковий графітовий нагрівач Semicorex - це високоефективний нагрівальний пристрій, виготовлений з високоякісного ізостатичного графіту. Він широко використовується в основних ланках процесу виробництва напівпровідників, таких як теплове поле печей для вирощування кристалів, процеси епітаксіального вирощування, обладнання для іонної імплантації, обладнання для плазмового травлення та виробництво форм для спікання напівпровідникових пристроїв.
Напівпровідникграфітовий нагрівачце передовий нагрівальний пристрій, виготовлений із ізостатичного графітового матеріалу високої чистоти. Його чудова електропровідність і теплопровідність забезпечують точний контроль температури та рівномірний розподіл тепла для вирощування та обробки напівпровідникових матеріалів. Коли електричний струм проходить через нагрівач, він долає внутрішній електричний опір графіту, перетворюючи електричну енергію в тепло, підвищуючи температуру графіту та досягаючи нагрівання. Точний контроль температури зазвичай можна досягти шляхом регулювання сили електричного струму та опору нагрівача.
Semicorex ретельно відібрані високої чистотиізостатичний графітдемонструє відмінну теплопровідність, що дозволяє швидко і рівномірно передавати тепло в кожен куточок опалювальної зони, ефективно запобігаючи локальному перегріву.
Примітно, що ізостатичний графіт високої чистоти зберігає стабільні фізичні та хімічні характеристики навіть під впливом надзвичайно високих температур, таких як надвисокотемпературна дугова абляція. Інтенсивне тепло зазвичай спричиняє плавлення, деформацію або окислення матеріалів, але цей тип графіту здатний протистояти цим змінам. Це робить його добре придатним для високотемпературних процесів у виробництві напівпровідників, включаючи витягування монокристалічного кремнію та вирощування кристалів карбіду кремнію.
Напівпровідниковий графітовий обігрівач характеризується енергоефективністю. Він не потребує попереднього нагрівання, швидко досягає заданої температури та значно економить електроенергію порівняно з традиційними обігрівачами. Його висока ефективність теплового перетворення ефективно зменшує споживання енергії, реалізуючи енергозбереження та зменшення споживання. Під час роботи не виділяє забруднюючих речовин і вихлопних газів, що відповідає екологічним вимогам.
Крім того, напівпровідниковий графітовий нагрівач може похвалитися тривалим терміном служби. Ізостатичний графіт високої чистоти надає їм чудову механічну міцність, стійкість до корозії та чудову стійкість до термічного удару. Вони менш сприйнятливі до таких факторів, як високі температури та хімічна корозія, що дозволяє збільшити термін служби.