Глиноземні керамічні манипулятори Semicorex, також звані глиноземними керамічними кінцевими ефекторами, є ключовими керамічними деталями, які в основному застосовуються у виготовленні передньої частини напівпровідників для обробки, транспортування та позиціонування пластин. Глиноземні керамічні манипулятори Semicorex, які відрізняються як надійною продуктивністю, так і конкурентоспроможною ціною, можуть забезпечити високу точність передачі пластини без забруднень і пошкоджень.
Завдяки високій чистоті, чудовій паралельності, точним розмірам, стабільній надійності та ефективній роботі, керамічні манипулятори роботів є незамінними компонентами, які широко застосовуються у передовому виробництві напівпровідників. З безперервним прогресом промислової автоматизації ринковий попит на керамічні зброї роботів постійно зростає.
Висококласні галузі промисловості, включаючи виробництво пластин, фотоелектричне поле та сектори точної електроніки, висувають суворі експлуатаційні вимоги до компонентів обладнання. Напівкорексглиноземна керамікаРуки робота можуть повністю задовольнити ці суворі вимоги виробництва напівпровідників у вакуумі та при високій температурі завдяки їхнім чудовим характеристикам матеріалу, показаним нижче.
1. Висока механічна міцність і твердість
2. Висока температура плавлення та надійна термічна стабільність
3. Виняткова хімічна корозія
4. Відмінні показники електроізоляції
| Властивості |
Щільність |
Міцність на вигин (20 ℃) |
Міцність на стиск (20 ℃) |
Твердість (по Кнупу 1000 г) |
Міцність на розрив (25 ℃) |
Коефіцієнт теплового розширення (25-1000 ℃) |
Максимальна температура використання |
||||||||||
| одиниця | г/см³ |
МПа |
МПа |
ГПа |
МПа |
1×10⁻⁶/℃ |
℃ |
||||||||||
| 99,5% Al₂O₃ |
3.9 |
350 |
2600 | 16 | 260 | 8.2 | 1750 | ||||||||||
Наведені вище дані лише для довідки
1. Висока точність обробки
Напівкорексглиноземно-керамічні руки роботаідеально підходять для стабільного поводження з пластинами та високоточного захоплення та перенесення пластин у чутливих до забруднення цехах з виробництва пластин у напівпровідниковій та фотоелектричній галузях, надійно забезпечуючи чистоту пластин і швидкість виходу мікросхем.
2. Хімічна обробка
Глиноземні керамічні манжети роботів Semicorex здатні витримувати корозію сильних кислот і лугів і добре підходять для роботи в агресивних хімічних умовах, наприклад у хімічній промисловості та нових сферах виробництва енергетичних батарей.
3. Високотемпературне виробництво Керамічні манжети роботів із оксиду алюмінію Semicorex можна широко використовувати у виробництві скла, лиття та металургії, оскільки вони можуть задовольнити вимоги щодо підтримки надійної міцності та стабільності в складних умовах високої температури.