Тигель з покриттям TaC

Представляємо тигель із покриттям CVD Tac, ідеальне рішення для виробників напівпровідникового обладнання та користувачів, яким потрібен найвищий рівень якості та продуктивності. Наші тиглі покриті найсучаснішим шаром CVD Tac (карбіду танталу), який забезпечує чудову стійкість до корозії та зношування, що робить їх ідеальними для використання в різноманітних напівпровідникових додатках.

Надіслати запит

Опис продукту

Виготовлені з високоякісних матеріалів і покриті найсучаснішою технологією CVD Tac, наші тиглі пропонують виняткову продуктивність і довговічність. Покриття CVD Tac забезпечує однорідний щільний шар, який є високостійким до хімічного впливу, стирання та термічного удару. Це гарантує, що наші тиглі зберігають свою форму та розміри навіть після багаторазового використання, зменшуючи потребу в частій заміні.

Наші тиглі з покриттям CVD Tac також добре сумісні з широким спектром напівпровідникових процесів, включаючи хімічне осадження з парової фази (CVD), фізичне осадження з парової фази (PVD) і атомно-шарове осадження (ALD). Незалежно від того, виробляєте ви мікрочіпи, сонячні батареї чи інші напівпровідникові пристрої, наші тиглі допоможуть вам досягти оптимальних результатів.

Параметри покриття TaC

Проекти	Параметри
Щільність	14,3 (г/см³)
Коефіцієнт випромінювання	0.3
КТР (×10^-6/K)	6.3
Твердість (HK)	2000
Опір (Ом-см)	1×10^-5
Термічна стабільність	<2500 ℃
Зміна розміру графіту	-10~-20um (довідкове значення)
Товщина покриття	Типове значення ≥20um (35um±10um)

Вищенаведені типові значення