Вертикальні кварцові вафельні човники

У процесах виробництва напівпровідників напівпровідникові компоненти в реакційній камері повинні відповідати суворим стандартам високої чистоти. Інакше навіть мікро- або нанорозмірні домішки чи забруднювачі можуть завдати незворотної шкоди продуктивності та продуктивності напівпровідникових пристроїв.

Кварцові вафельні човникизазвичай встановлюються вертикально у високотемпературних реакційних камерах, таких як дифузійні печі, печі окислення та печі відпалу, де вони мають бути в прямому контакті з пластинами. Вертикальні кварцові вафельні човни Semicorex виготовлені з високочистих кварцових матеріалів, щоб задовольнити ці вимоги високої чистоти. Цей мудрий вибір матеріалу ефективно запобігає забрудненню пластин, викликаним реагентами, що виділяються з пластин під час виробничого процесу.

У виробництві напівпровідників пластинчасті пластини повинні не тільки проходити повторювані цикли нагрівання-охолодження, але й витримувати корозію технологічних газів протягом тривалого часу. Вертикальний кварц SemicorexвафельнийЧовни демонструють виняткову стабільність розмірів у складних умовах експлуатації постійного термічного циклу завдяки притаманній їм термічній стабільності. Ці чудові теплові властивості значною мірою запобігають деформації пластин і пошкодженням, викликаним погіршенням точності або структурною деформацією вертикальних кварцових пластин. Більше того, завдяки високій хімічній інертності вертикальні кварцові вафельні човни можуть бути стійкими до реакції з корозійними газами, такими як кисень, водяна пара, хлористий водень та аміак. Ця властивість значно зменшує ймовірність того, що хімічна корозія порушить структурну цілісність вертикальних кварцових вафельних човнів.

На додаток до переваг, згаданих вище, вертикальні кварцові вафельні човни Semicorex також демонструють чудову конкурентоспроможність у точності розмірів і конструктивному дизайні. Кожна їх частина виготовлена ​​за допомогою точних технологій обробки. Цей точний контроль розмірів забезпечує точне позиціонування пластини, зводячи до мінімуму подряпини та тріщини, спричинені зміщенням або зіткненнями під час завантаження, обробки та вивантаження.