15" кварцовий дзвін

Semicorex 15" Quartz Bell Jar розроблено для вирішення цих завдань, забезпечуючи високоефективне рішення для середньо- та великомасштабної серійної обробки, де теплова однорідність і чистота матеріалу є важливими для максимізації виходу. У напівпровідниковій і тонкоплівковій промисловості цілісність технологічної камери має першорядне значення. Оскільки розміри пластин збільшуються, а вузли зменшуються, вимога до чистого, стабільне, а хімічно інертне середовище не підлягає обговоренню.

1. Матеріалознавство: Чистота плавленого кремнезему

Основа нашої баночки високої чистотиплавлений кремнезем (кварц). На відміну від стандартного скла, кварц майже повністю складається з SiO2, що забезпечує унікальні властивості, життєво важливі для виготовлення напівпровідників:

Надзвичайно низьке забруднення: наш кварц обробляється для мінімізації металевих мікроелементів (таких як Al, Fe, Na та K) до рівня частинок на мільярд (ppb). Це запобігає дифузії домішок у пластину під час високотемпературних циклів, забезпечуючи електричну цілісність пристроїв.

Чудова стійкість до термічного удару: Кварц має майже нульовий коефіцієнт теплового розширення (CTE). Це дозволяє 15-дюймовому кварцовому колпаку витримувати швидке підвищення температури та загартування без ризику руйнування чи структурної втоми — критичної вимоги для високопродуктивних реакторів.

Відмінна хімічна інертність: кварц має високу стійкість до більшості кислот (за винятком фтористоводневої кислоти) і корозійних технологічних газів, що гарантує, що камера не руйнується або не виділяє газів під час циклів агресивного травлення або осадження.

2. Точність техніки та оптична прозорість

15-дюймовий кварцовий дзвіночок забезпечує максимальний об’єм і оптимальну динаміку газового потоку для періодичної обробки пластин. Банка має вертикальний димохід (також відомий як горловина), який оптимально розроблений для забезпечення входу газу або допомоги у вилученні газу через вакуум із банки, що показано на зображенні вище.

Оптична прозорість - високий рівень пропусканнякварцовий матеріалдля випромінювання довжин хвиль в ультрафіолетовому, видимому та інфрачервоному областях спектра дозволяє обробляти в реальному часі, а також використовувати зовнішні лампові нагрівачі для швидкої термічної обробки (RTP).

Посилені герметизуючі поверхні - Горловина банки має спеціально розроблене непрозоре біле ущільнення (також називається шліфованим з'єднанням), яке забезпечує герметичну (повітряну герметичність) і вакуумну герметичність між опорною плитою реактора та банкою.

Відпал для зняття напруги – усі 15-дюймові кварцові банки-дзвони проходять суворий процес термічного відпалу, щоб зняти внутрішнє механічне навантаження, яке виникло на банку в результаті механічного процесу видування або формування банки, таким чином значно зменшуючи ймовірність того, що банка спонтанно вирветься з ладу під час вакуумного навантаження.

3. Критичні програми у виробництві напівпровідників

Наш 15-дюймовий кварцовий дзвінок спеціально розроблений для інтеграції в такі важливі процеси:

Кремнієва епітаксія: створення прозорої нереактивної ємності для вирощування високоякісних шарів монокристалічного кремнію.

Plasma Enhanced CVD (PECVD): Витримує корозійне плазмове середовище, зберігаючи високу діелектричну міцність.

Дифузія та окислення: служить чистою камерою з високим нагріванням для утворення оксидів затвора та введення допантів.

Виробництво преформ оптичного волокна: ідеально підходить для високочистого осадження кремнеземних шарів у виробництві спеціального скла.

У Semicorex ми розглядаємо кожну банку дзвоника як частину точного лабораторного обладнання. Наш процес включає: суворий пошук матеріалів із перевіреним електронним класомкварцзлитки; передове виготовлення, яке поєднує традиційні навички видування скла з керованим ЧПК шліфуванням і поліруванням; і ретельний огляд з використанням поляризованого світла для виявлення залишкової напруги та лазерної інтерферометрії для точної перевірки розмірів.