Напівпровідниковий кварцовий дзвоник

Semicorex Semiconductor Quartz Bell Jar зазвичай виготовляється з синтетичного плавленого кварцу, матеріалу, відомого своєю винятковою чистотою, стійкістю до високих температур і властивостями низького теплового розширення. Це гарантує, що камера не вносить забруднюючих речовин або домішок у процес виготовлення напівпровідників.

Напівпровідниковий кварцовий дзвоник зазвичай має циліндричну або куполоподібну форму з плоскою або злегка вигнутою основою для розміщення напівпровідникових пластин або підкладок. Він оснащений точно розробленим герметичним ущільнювальним механізмом, таким як фланець або ущільнювальне кільце, для підтримки вакууму або контрольованої атмосфери всередині камери під час обробки.

Semiconductor Quartz Bell Jar забезпечує чудову оптичну чіткість, дозволяючи операторам візуально контролювати процеси всередині камери без шкоди для точності та внесення перешкод. Кварц дуже стійкий до хімічного впливу більшості кислот, лугів і розчинників, які зазвичай використовуються в процесах виготовлення напівпровідників. Це забезпечує цілісність камери та запобігає забрудненню субстратів.

Кварц має високу температуру плавлення та термостабільність, що дозволяє напівпровідниковій кварцовій баночці витримувати високі температури, що виникають під час процесів осадження або відпалу, без деформації чи деградації.

Застосування:

Осадження: напівпровідникові кварцові банки використовуються в різних техніках осадження, таких як хімічне осадження з парової фази (CVD), фізичне осадження з парової фази (PVD) і атомарно-шарове осадження (ALD) для точного й рівномірного нанесення тонких плівок матеріалів на напівпровідникові підкладки.

Травлення: вони використовуються в процесах плазмового травлення для вибіркового видалення матеріалу з напівпровідникових пластин, створюючи складні візерунки та структури з високою точністю та повторюваністю.

Відпал: дзвонові банки використовуються в процесах відпалу, щоб піддати напівпровідникові пластини контрольованій термічній обробці, сприяючи кристалізації, активації допантів і зняття напруги в нанесених плівках.