Semicorex пропонує різні типи пластин SiC 4H і 6H. Ми є виробником і постачальником вафель протягом багатьох років. Наша подвійно полірована 6-дюймова пластина SiC N-типу має хорошу цінову перевагу та охоплює більшість європейських та американських ринків. Ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.
Semicorex має повну лінійку виробів з карбіду кремнію (SiC), включаючи підкладки 4H і 6H з N-типу, P-типу та напівізоляційними пластинами високої чистоти, вони можуть бути з або без епітаксії. Наша 4-дюймова підкладка N-типу SiC (карбіду кремнію) — це тип високоякісної пластини, виготовленої з монокристалу карбіду кремнію з легуванням N-типу, який подвійно полірований.
6-дюймова пластина SiC N-типу в основному використовується в нових енергетичних транспортних засобах, високовольтних передачах і підстанціях, побутовій техніці, високошвидкісних поїздах, електродвигунах, фотоелектричних інверторах, імпульсних джерелах живлення та інших сферах, які мають переваги зменшення обладнання втрати енергії, підвищення надійності обладнання, зменшення розміру обладнання та підвищення продуктивності обладнання, а також мають незамінні переваги у створенні силових електронних пристроїв.
Предмети |
виробництво |
дослідження |
манекен |
Параметри кристала |
|||
Політип |
4H |
||
Помилка орієнтації поверхні |
<11-20 >4±0,15° |
||
Електричні параметри |
|||
Допант |
Азот n-типу |
||
Питомий опір |
0,015-0,025 Ом·см |
||
Механічні параметри |
|||
Діаметр |
150,0±0,2 мм |
||
Товщина |
350±25 м¼м |
||
Первинна плоска орієнтація |
[1-100]±5° |
||
Первинна плоска довжина |
47,5±1,5 мм |
||
Вторинна квартира |
Жодного |
||
TTV |
â¤5 μм |
â¤10 μм |
â¤15 μм |
LTV |
â¤3 м¼м (5 мм*5 мм) |
â¤5 μм (5 мм*5 мм) |
â¤10 μм (5 мм*5 мм) |
Лук |
-15μm ~ 15μm |
-35μm ~ 35μm |
-45μm ~ 45μm |
Деформація |
â¤35 μм |
â¤45 μм |
â¤55 μм |
Шорсткість передньої (Si-face) (AFM) |
Raâ¤0,2 нм (5μm*5μm) |
||
Структура |
|||
Щільність мікротрубок |
<1 шт./см2 |
<10 еа/см2 |
<15 шт./см2 |
Металеві домішки |
â¤5E10атомів/см2 |
NA |
|
BPD |
â¤1500 шт./см2 |
â¤3000 шт./см2 |
NA |
ТСД |
â¤500 шт./см2 |
â¤1000 шт./см2 |
NA |
Передня якість |
|||
Фронт |
Si |
||
Оздоблення поверхні |
Si-face CMP |
||
частинки |
â¤60 шт./вафля (розмір ¥0,3¼м) |
NA |
|
Подряпини |
â¤5 шт./мм. Сумарна довжина â¤Діаметр |
Сукупна довжинаâ¤2*діаметр |
NA |
Апельсинова кірка/ямки/плями/смуги/тріщини/забруднення |
Жодного |
NA |
|
Крайні відколи/відступи/розломи/шестигранні пластини |
Жодного |
||
Політипні області |
Жодного |
Сукупна площаâ¤20% |
Сукупна площаâ¤30% |
Переднє лазерне маркування |
Жодного |
||
Якість задньої частини |
|||
Задня обробка |
C-грань CMP |
||
Подряпини |
â¤5ea/мм, Сукупна довжинаâ¤2*Діаметр |
NA |
|
Дефекти задньої частини (сколи/відступи на краях) |
Жодного |
||
Шорсткість спини |
Raâ¤0,2 нм (5μm*5μm) |
||
Лазерне маркування спини |
1 мм (від верхнього краю) |
||
Край |
|||
Край |
Фаска |
||
Упаковка |
|||
Упаковка |
Epi-ready з вакуумною упаковкою Упаковка мультивафельної касети |
||
*Приміткиï¼ "NA" означає відсутність запиту. Незгадані елементи можуть стосуватися SEMI-STD. |