Розрізняють два види епітаксії: гомогенну і гетерогенну. Щоб виробляти пристрої з SiC із питомим опором та іншими параметрами для різних застосувань, перед початком виробництва підкладка повинна відповідати умовам епітаксії. Якість епітаксії впливає на продуктивність пристрою.
ДетальнішеУ виробництві напівпровідників травлення є одним із основних етапів, поряд із фотолітографією та осадженням тонких плівок. Це передбачає видалення небажаних матеріалів з поверхні пластини за допомогою хімічних або фізичних методів. Цей крок виконується після нанесення покриття, фотолітографії та про......
Детальніше