Продукти

Solid CVD SiC кільця Semicorex — це високоефективні кільцеподібні компоненти, які в основному використовуються в реакційних камерах обладнання для плазмового травлення в передовій напівпровідниковій промисловості. Solid CVD SiC кільця Semicorex проходять суворий вибір матеріалів і контроль якості, що забезпечує неперевершену чистоту матеріалу, виняткову стійкість до плазмової корозії та постійну експлуатаційну продуктивність.

Ущільнення Semicorex SiC - це високоефективні механічні лицьові компоненти, розроблені для забезпечення чудової зносостійкості, термічної стабільності та універсальної хімічної інертності в найвимогливіших середовищах обертового обладнання. Semicorex є професійним постачальником SiC керамічних матеріалів, який може постачати високоточні продукти для клієнтів у всьому світі.*

Semicorex SiC Pedestal — це високоточний, багатофункціональний апаратний компонент, призначений для забезпечення термічної стабільності та складного розподілу рідини, необхідних для передових мікроканальних реакційних систем. Semicorex спеціалізується на розробці та постачанні цих п’єдесталів з SiC високої чистоти відповідно до потреб клієнтів.*

Графітові пристосування Semicorex із покриттям SiC є основними графітовими компонентами, покритими щільним однорідним покриттям SiC. У поєднанні з чудовими властивостями як графіту, так і карбіду кремнію, графітові пристосування Semicorex із SiC-покриттям надійно працюють у складних умовах упаковки напівпровідників і випробувань.

Керамічний вакуумний патрон Semicorex SiC виготовляється з високочистого спеченого щільного карбіду кремнію (SSiC), що є остаточним рішенням для високоточної обробки та стоншування пластин, забезпечуючи незрівнянну жорсткість, термічну стабільність і субмікронну площинність. Semicorex прагне надавати високоякісні та економічні продукти для клієнтів у всьому світі.*

Трубки для печей із SiC-покриттям Semicorex CVD — це високоякісні трубчасті компоненти, спеціально виготовлені для високотемпературної обробки напівпровідників, наприклад окислення, дифузії та відпалу напівпровідникових пластин. Використовуючи передові технології обробки та зрілий виробничий досвід, Semicorex прагне постачати нашим цінним клієнтам прецизійні труби для печей із CVD SiC-покриттям найкращої на ринку якості.