SiC керамічний вакуумний патрон

Оскільки вони прагнуть до закону Мура, заводи з виробництва напівпровідників потребують платформ для утримання пластин, які можуть витримувати сильні механічні навантаження та залишатися плоскими, без ударів чи провалів. Керамічний вакуумний патрон Semicorex SiC є ідеальним рішенням для заміни традиційних патронів із оксиду алюмінію та нержавіючої сталі; вони забезпечать необхідне співвідношення жорсткості та ваги та не вступатимуть у хімічну реакцію, що є важливим для обробки 300-міліметрових пластин і більше.

1. Переваги матеріалу завдяки використанню спеченого щільного карбіду кремнію (SSiC).

Основний компонент нашогоКераміка SiCВакуумний патрон спеченийКарбід кремнію, матеріал, що визначається його дуже міцним ковалентним зв’язком. Наш SSiC не є пористим або реакційним; він спікається при > 2000 градусів за Цельсієм для досягнення майже теоретичної щільності (> 3,10 г/см3) — простіше кажучи, він твердіший за інші матеріали, що використовуються для виготовлення вакуумних патронів.

Надзвичайна механічна жорсткість.

Модуль Юнга SSiC становить приблизно 420 ГПа, що робить його набагато жорсткішим за оксид алюмінію (приблизно 380 ГПа). Завдяки цьому високому модулю пружності наші патрони залишатимуться стабільними в умовах вакууму та високої швидкості обертання та не деформуватимуться; отже, вафлі не будуть «картопляними чіпсами» (тобто деформуватися) і завжди створюватимуть рівномірний контакт по всій площі поверхні.

Термостабільність і низький КТР

У процесах, що включають ультрафіолетове світло високої інтенсивності або тепло, спричинене тертям, теплове розширення може призвести до помилок накладання. Наші патрони SiC мають низький коефіцієнт теплового розширення (КТР) 4,0 x 10^{-6}/K у поєднанні з високою теплопровідністю (>120 Вт/м·K). Ця комбінація дозволяє патрону швидко розсіювати тепло, зберігаючи стабільність розмірів під час тривалих літографічних або метрологічних циклів.

2. Точне машинобудування та проектування

Як видно на зображенні продукту, наші вакуумні патрони мають заплутану мережу концентричних і радіальних вакуумних каналів. Вони виготовлені з ЧПУ з надзвичайною точністю, щоб забезпечити рівномірне всмоктування пластини, мінімізуючи локальні точки напруги, які можуть призвести до поломки пластини.

Субмікронна площинність: ми використовуємо вдосконалені методи алмазного шліфування та притирки для досягнення глобальної площинності <1 мкм. Це критично важливо для підтримки фокусної глибини, необхідної для сучасних літографічних вузлів.

Полегшення (необов’язково): для розміщення ступенів високого прискорення в степперах і сканерах ми пропонуємо внутрішні стільникові «полегшені» структури, які зменшують масу без шкоди для жорсткості конструкції.

Виїмки для вирівнювання по периметру: інтегровані виїмки дозволяють бездоганно інтегрувати роботизовані кінцеві виконавці та датчики вирівнювання в технологічному інструменті.

3. Критичні програми в ланцюгу постачання напівпровідників

Наші керамічні вакуумні патрони SiC є промисловим стандартом для:

Стоншення та шліфування пластин (CMP): забезпечення жорсткої підтримки, необхідної для тонкості пластин до мікронного рівня без відколів країв.

Літографія (крокові пристрої/сканери): діє як надплоска «сцена», яка забезпечує точне лазерне фокусування для вузлів розміром менше 7 нм.

Метрологія та AOI: забезпечення ідеальної плоскості пластин для перевірки з високою роздільною здатністю та картографування дефектів.

Вафельне нарізання кубиками: забезпечення стабільного всмоктування під час високошвидкісного механічного або лазерного нарізання кубиками.

У Semicorex ми розуміємо, що якість вакуумного патрона залежить лише від цілісності його поверхні. Кожен патрон проходить багатоетапний процес контролю якості:

Лазерна інтерферометрія: для перевірки площинності по всьому діаметру.

Перевірка на герметичність гелієм: гарантія ідеальної герметичності та ефективності вакуумних каналів.

Очищення чистих приміщень: обробляється в середовищах класу 100 для забезпечення нульового металевого або органічного забруднення.

Наша команда інженерів тісно співпрацює з виробниками інструментів OEM, щоб налаштувати шаблони слотів, розміри та монтажні інтерфейси. Вибираючи Semicorex, ви інвестуєте в компонент, який скорочує час простою, покращує точність накладення та знижує загальну вартість володіння завдяки надзвичайній довговічності.