Міцні кільця фокусування Semicorex для обробки напівпровідників розроблені таким чином, щоб витримувати екстремальні навколишні умови камер плазмового травлення, які використовуються в обробці напівпровідників. Наші фокусні кільця виготовлені з графіту високої чистоти, покритого щільним, зносостійким покриттям з карбіду кремнію (SiC). Покриття SiC має високі корозійні та термостійкі властивості, а також чудову теплопровідність. Ми наносимо SiC тонкими шарами на графіт за допомогою процесу хімічного осадження з парової фази (CVD), щоб подовжити термін служби наших кілець фокусування.
ДетальнішеНадіслати запит