Міцні кільця фокусування для обробки напівпровідників

Міцні кільця фокусування Semicorex для обробки напівпровідників розроблені таким чином, щоб витримувати екстремальні навколишні умови камер плазмового травлення, які використовуються в обробці напівпровідників. Наші фокусні кільця виготовлені з графіту високої чистоти, покритого щільним, зносостійким покриттям з карбіду кремнію (SiC). Покриття SiC має високі корозійні та термостійкі властивості, а також чудову теплопровідність. Ми наносимо SiC тонкими шарами на графіт за допомогою процесу хімічного осадження з парової фази (CVD), щоб подовжити термін служби наших кілець фокусування.

Надіслати запит

Опис продукту

Наші довговічні кільця фокусування для обробки напівпровідників розроблені для покращення рівномірності травлення по краю або периметру пластини, мінімізуючи забруднення та позапланове обслуговування. Вони дуже стійкі до швидкого термічного відпалу (RTA), швидкої термічної обробки (RTP) і жорсткого хімічного очищення.

У Semicorex ми зосереджені на забезпеченні високоякісних, економічно ефективних довговічних фокусних кілець для обробки напівпровідників, ми надаємо пріоритет задоволенню клієнтів і пропонуємо економічно ефективні рішення. Ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером, пропонуючи високоякісні продукти та виняткове обслуговування клієнтів.

Зв’яжіться з нами сьогодні, щоб дізнатися більше про наші міцні кільця фокусування для обробки напівпровідників.

Параметри довговічних фокусних кілець для обробки напівпровідників

Основні характеристики покриття CVD-SIC
Властивості SiC-CVD
Кристалічна структура	FCC β фаза
Щільність	г/см³	3.21
Твердість	Твердість за Віккерсом	2500
Розмір зерна	мкм	2~10
Хімічна чистота	%	99.99995
Теплоємність	Дж кг-1 К-1	640
Температура сублімації	℃	2700
Згинальна сила	МПа (RT 4 точки)	415
Модуль Юнга	Gpa (вигин 4 точки, 1300 ℃)	430
Теплове розширення (C.T.E)	10-6К-1	4.5
Теплопровідність	(Вт/мК)	300

Особливості стійких фокусних кілець для обробки напівпровідників

● Графіт високої чистоти та покриття SiC для стійкості до точкових отворів і довшого терміну служби.

● Як графітова підкладка, так і шар SiC мають високу теплопровідність і відмінні властивості розподілу тепла.

● Покриття SiC наноситься тонкими шарами для збільшення терміну служби.

Гарячі теги: Міцні кільця фокусування для обробки напівпровідників, Китай, виробники, постачальники, фабрика, індивідуальні, масові, вдосконалені, міцні

Тег продукту

Пов'язана категорія