Сикореекс жорсткий графіт-це високоефективний теплоізоляційний матеріал, виготовлений з вуглецевого волокна на основі PAN на основі PAN, широко використовується у високотемпературних промислових печах. Виберіть Semicorex для його вдосконалених виробничих процесів та перевіреного досвіду надання міцних та надійних рішень для вимогливих напівпровідникових додатків.*
Жорсткий графітовий фетер може бути сформований за допомогою м'якого вилікування ламінування та вологих утворень. Загальний метод ламінування для створення графіту з вуглецевого волокна жорсткий фетар використовує м'який фетар як сировину. Процес виробництва починається з різання: різання декількох шматочків заготовки трохи більше, ніж кінцевий жорсткий розмір фетру від м'якого фетру. Після різання він просочений смолою та іншими матеріалами, що склалися, а просочені заготовки укладаються в декілька шарів відповідно до необхідної твердої товщини.
Просочення виробництва м'якого фетру в основному просочується каталізаторами, щоб зробити віскозні волокна більш стабільними при подальшій термічній обробці; в той час як просочення жорсткого графітового фетру в основному просочується з термореактивною смолою. У наступному процесі нагрівання та затвердіння рідка смола твердне, і множинні шари м'якого фетру щільно поєднуються з смолою.
М'який фетровий графіт смоли + вуглецеві волокна дозволяє матеріалу досягти ефекту "1 + 1> 2" в деяких властивостях. Після нагрівання та затвердіння багатошаровий м'який фетар, просочений смолою, більше не може бути згортається, як м'який фетровий, а також щільність та міцність на стиснення матеріалу збільшуються.
Під час зростання моноксталів ПВТ вуглецеве волокно відбувало роль у збереженні тепла. Чистота жорсткого графітового фетру має вирішальне значення для успішного зростання кристалів SIC. Домішки в ізоляції, що відчувається, є одним із джерел забруднення домішки під час процесу росту. Вміст ключових домішок у вуглецевому волокні контролюється нижче 10-6, а загальний вміст золи повинен бути суворо контрольований. Згідно з патентом, він застосовує різні високотемпературні методи обробки багатоступеневого очищення, використовуючи кілька етапів циркуляції газу на кожному етапі для перетворення домішок з високою картовою точкою в сполуки з низькою картовою точкою, і вміст попелу, чия зола менше 20 мг · кг, і Al, b, v, v менше, ніж 0,1mg · kg.
Жорсткий графітовий фетар також має ключові технології для контролю рівномірності поля потоку, включаючи температурне поле та управління поля потоку газу. Температурне поле розміщено в монокристалічній печі шляхом проектування температурних компенсаційних областей, незалежного контролю температури з мультизонами та зміною форми та макета нагрівача.