Жорсткий фетр із склоподібним вуглецевим покриттям, фірмовий продукт Semicorex, складається з жорсткої фетрової підкладки з вуглецевого волокна, покритої склоподібним вуглецевим покриттям, що поєднує міцність повсті з винятковими властивостями поверхні склоподібного вуглецю. . Разом вони створюють матеріал, який виділяється своєю ефективністю в екстремальних умовах.**
Однією з головних переваг твердого фетру зі склоподібним вуглецевим покриттям є його виняткова термостійкість. Склоподібне вуглецеве покриття дозволяє матеріалу витримувати температуру до 2000°C в інертній атмосфері, що робить його ідеальним для високотемпературних напівпровідникових процесів. Ця здатність доповнюється низьким тепловим розширенням покриття та високою стійкістю до теплового удару, які захищають жорстку повстяну підкладку з вуглецевого волокна від пошкодження під час різких коливань температури. Ці властивості є вирішальними у виробництві напівпровідників, де послідовне керування температурою є важливим для підтримки цілісності чутливих компонентів.
Склоподібне вуглецеве покриття також надає чудову хімічну та корозійну стійкість твердого повсті з вуглецевого волокна. Ця стійкість гарантує, що матеріал залишається стабільним і ефективним у середовищах, що характеризуються впливом агресивних хімікатів і корозійних агентів. Непроникність покриття для газів і рідин додатково захищає основу, запобігаючи інфільтрації, яка інакше може поставити під загрозу її продуктивність. Ця характеристика робить твердий фетр зі склоподібним вуглецевим покриттям особливо цінним у виробництві напівпровідників, де поширений вплив жорстких хімічних процесів.
Висока чистота — це ще одна важлива перевага склоподібного карбонового покриття. З досяжним рівнем чистоти, що досягає 99,99999%, покриття мінімізує утворення часток, що є життєво важливим фактором у напівпровідникових чистих приміщеннях. Зменшене випромінювання часток допомагає запобігти забрудненню, таким чином підвищуючи надійність і продуктивність напівпровідникових пристроїв. Ця чистота в поєднанні з ізотропною структурою матеріалу, яка забезпечує однакові властивості в усіх напрямках, сприяє незмінній продуктивності твердого фетру зі склоподібним вуглецевим покриттям у різних сферах застосування.
Електро- та теплопровідність склоподібного вуглецевого покриття ще більше підвищує універсальність жорсткого фетру. Ці провідні властивості забезпечують ефективне управління теплом і електричним струмом, підтримуючи такі додатки, як нагрівачі та інше обладнання для термічної обробки. Забезпечуючи ефективні теплові та електричні характеристики, твердий фетр із вуглецевим покриттям, схожим на скло, стає незамінним активом у складних напівпровідникових системах, де точність має першорядне значення.
У напівпровідниковій промисловості застосування твердого повсті з вуглецевим покриттям, схожого на скло, є широким і різноманітним. Це ідеальний матеріал для компонентів інструментів плазмового травлення та хімічного осадження з парової фази (CVD), де його хімічна стійкість і термічні властивості є критичними. Крім того, матеріал служить ефективною мішенню для розпилення та тримачем зразків для аналітичного обладнання, де його висока чистота та стабільність забезпечують точні результати. Ця універсальність поширюється на його використання в пристосуваннях для процесів виробництва скла, використовуючи його термостійкість і непроникність для оптимізації продуктивності при формуванні та формуванні скляних матеріалів.
Окрім сфери напівпровідників, переваги склоподібного вуглецевого покриття мають значення для інших високотехнологічних застосувань. Термостійкість і хімічна інертність роблять його придатним для використання в нагрівачах і обладнанні для термічного аналізу, де потрібен точний контроль температури і хімічних взаємодій. Здатність матеріалу зберігати продуктивність за екстремальних умов гарантує, що він залишається надійним компонентом у широкому діапазоні складних промислових застосувань.
SEM зображення пористого склоподібного вуглецю