Напівпровідникові кварцові тиглі

Semicorex Semiconductor Quartz Crucibles - це споживчі продукти в напівпровідниковій промисловості, спеціально для кварцових тиглів, що використовуються в процесі витягування кремнію монокристалічного виробництва. Вони виготовляються з надлишкового плавленого кварцу, який задовольняє чистоту, однорідність та теплову стійкість і виробляються для задоволення високих потреб сучасного виробництва напівпровідників. Вони є життєво важливими для специфікації Ingot Cilicon, оскільки їхні атрибути безпосередньо впливають на продуктивність вафель та врожайність у обробці інтегрованої схеми.

З теплової та фізичної точки зору: Кварцові тиглі можуть дуже добре витримати тепло. Точка деформації становить приблизно 1100 ° C, точка пом'якшення становить приблизно 1730 ° C, а максимальна температура безперервної служби - 1100 ° C, [короткострокова експозиція до 1450 ° C]. Ці властивості дозволяють використовувати зручність при високій температурі, забезпечуючи при цьому високу чистоту та теплову стійкість, а отже, сприяють стабільності під час процесів кристалів Чокральського (CZ), де забруднення та деформацію потрібно мінімізувати, а точні теплові профілі є першорядними для отримання однорідного росту кристалів.

З структурної точки зору, напівпровідникові кварцові тиглі складаються з шаруватої композитної структури, призначеної для теплових властивостей та механічної міцності. Шар стартового (переміщення всередину)-це прозорий кварцовий шар, який, як правило, одна третина товщини стінки (близько 3–5 мм) і має відносно низький вміст міхура (залежно від техніки обробки), і тому гладка поверхня, що не містить дефектів, буде контактувати з розплавленим силіконовим кварцом (це сприяє контролю за конструкціюм умови кристалів).

Зовнішня сторона шарується з більшим рівнем бульбашок, що сприяють силі деформації Crucible, більш високою стійкістю до термічного напруги та теплоізоляцією від джерела тепла для рівномірності випромінювання. Шари тиглі дозволяють йому підтримувати форму та цілісність, незважаючи на диференціальні теплові градієнти ступеня, які існують у процесі витягування кристала.

Сучасні кварцові Crucibles розробили далі, ніж традиційна двошарова структура через прогрес у виробничій технології. Багато тиглів використовують тришарову структуру-прозорий внутрішній шар, прозорий середній шар, який має бульбашки, дисперговані через кварц, і зовнішній тонкий шар міхурного кварцу. Тришарові конструкції пропонують кращу механічну міцність, термічне управління та вигоди від витрат та покращують характеристики тепла. Крім того, деякі тиглі застосовують покриття іонів лужних металів (наприклад, іонних розчинів барію) на найпотаємнішій поверхні або використовують синтетичний кварц високої чистоти в конкретних шарах, щоб зменшити вміст кисню, виснажені чистоти та покращити загальну якість витягнутих одно кристалів.

Виробничі кварцові тиглі для напівпровідників мають на меті проводити суворі допуски контролю якості в необхідних чистоти, що, як правило, є декількома частинами на мільярд металевих домішок. Сировина ретельно підбирається та очищається для видалення будь -яких забруднень. Вони утворюються до шорстких розмірів, з належною термічною обробкою, застосованою, і поверхнею, закінченою для вирішення розмірної точності, механічної міцності та чистоти. Процес спрямований на забезпечення того, що тиглі залишатимуться надійними, піддаючись тривалому високотемпературному опроміненню в суворих хімічних умовах.

Продуктивність кварцового тиглі у виробництві напівпровідників впливає на рівномірність кремнієвої кристалічної решітки, щільності дефекту та кисню в злиті. Високі чистоти та кварцові картинки, що не містять дефектів, обмежуватимуть дислокацію дефектів кристалів, посилить швидкість урожайності та встановлять можливість генерування вафель для просування геометрії пристрою. Якщо ви продюсер ICS HGH-продуктивності, фотоелектричний кремній або електроніку, що вибирає та використовуючи кварцові тиглі високої якості, є вирішальним елементом для встановлення та оптимізації витрат.

НапіворексНапівпровідниковий кварцТиглі є важливим допоміжним матеріалом для будь -якої системи витягування кристалів кремнію. Унікальні атрибути чистоти, високої температури та власні багатошарові структури роблять це відповідним матеріалом для підтримки суворості процесу витягування CZ, забезпечуючи послідовну та відтворювану продуктивність. Коли напівпровідникове виробництво рухається до більш високої інтеграції та більш жорстких допусків, значні переваги до доданої вартості точних інженерних кварцових графіків стануть більшою важливістю щодо забезпечення та розробки електронних технологій наступного покоління.