Semicorex — ваш партнер у вдосконаленні обробки напівпровідників. Наші покриття з карбіду кремнію є щільними, стійкими до високих температур і хімікатів, які часто використовуються в усьому циклі виробництва напівпровідників, включаючи напівпровідникові пластини, обробку пластин і виготовлення напівпровідників.
Високочисті керамічні компоненти SiC мають вирішальне значення для процесів у напівпровіднику. Наша пропозиція варіюється від витратних матеріалів для обладнання для обробки пластин, таких як вафельний човен з карбіду кремнію, консольні лопаті, труби тощо для епітаксії або MOCVD.
Переваги для напівпровідникових процесів
Фази осадження тонкої плівки, такі як епітаксія або MOCVD, або обробка пластин, наприклад травлення чи іонна імплантація, повинні витримувати високі температури та жорстке хімічне очищення. Semicorex постачає конструкцію з високочистого карбіду кремнію (SiC), яка забезпечує чудову термостійкість і довговічну хімічну стійкість, рівномірну термічну однорідність для стабільної товщини і стійкості епі-шару.
Кришки камери →
Кришки камер, які використовуються для вирощування кристалів і обробки пластин, повинні витримувати високі температури та жорстке хімічне очищення.
Консольне весло →
Консольна пластина є важливим компонентом, який використовується в процесах виробництва напівпровідників, зокрема в дифузійних або LPCVD печах під час таких процесів, як дифузія та RTP.
Технологічна трубка →
Process Tube — це важливий компонент, спеціально розроблений для різних програм обробки напівпровідників, таких як RTP, дифузія.
Вафельні кораблики →
Wafer Boat використовується в обробці напівпровідників, він був ретельно розроблений, щоб забезпечити безпеку делікатних пластин під час критичних етапів виробництва.
Впускні кільця →
Газове вхідне кільце з покриттям SiC за допомогою обладнання MOCVD Зростання сполуки має високу стійкість до тепла та корозії, що має високу стабільність у екстремальних умовах.
Кільце фокусування →
Semicorex постачає кільце фокусування з покриттям з карбіду кремнію, яке дійсно стійке до RTA, RTP або жорсткого хімічного очищення.
Вафельний патрон →
Ультраплоскі керамічні вакуумні вафельні патрони Semicorex мають покриття SiC високої чистоти, яке використовується в процесі обробки пластин.
Semicorex також має керамічні вироби з оксиду алюмінію (Al2O3), нітриду кремнію (Si3N4), нітриду алюмінію (AIN), оксиду цирконію (ZrO2), композитної кераміки тощо.
Гальма CCB Semicorex (вуглецеві гальмові гальма з шарами тертя з покриттям) представляють наступне покоління високоефективних гальмівних розчинів, спроектовані для надзвичайної міцності, термічної стійкості та послідовного гальмування в найвибагливіших умовах. Виберіть Semicorex для його досвіду вдосконалених керамічних композитів та точних інженерних технологій покриття.*
ДетальнішеНадіслати запитГальма Semicorex CCM, виготовлені з передових вуглецевих матричних матеріалів, є ідеальним рішенням для високоефективного гальмування в екстремальних умовах водіння. Виберіть Semicorex для нашого неперевершеного досвіду в галузі керамічної композитної інженерії, точного виготовлення та відданості забезпеченню послідовної, підготовленої раси.*
ДетальнішеНадіслати запитКерамічні композитні обігрівачі Semicorex забезпечують надолійні, високоефективні показники опалення для вимогливих високотемпературних застосувань. Виберіть Semicorex для провідної в галузі чистоти матеріалу, точній інженерії та надійній налаштуванні, що підтримується роками досвіду в галузі вдосконалених керамічних технологій.*
ДетальнішеНадіслати запитSemicorex PBN Heater пропонує надолійні, високотемпературні показники, ідеальні для напівпровідника, зростання кристалів та вакуумних застосувань. Виберіть Semicorex для неперевершеної чистоти матеріалу, інженерної точності та надійної доставки, довіряти провідними глобальними виробниками.*
ДетальнішеНадіслати запитКерамічні катери Semicorex SIC забезпечують оптимальне поєднання чистоти, міцності, теплового опору та розмірної точності, необхідної для суворих вимог сучасної обробки напівпровідникових вафель. *
ДетальнішеНадіслати запитSEMICOREX SIC ROBOT Руки-це високоточні, надолішні кінцеві ефекти, розроблені для безпечного та надійного передачі вафель у виробництві напівпровідників.
ДетальнішеНадіслати запит