Semicorex — ваш партнер у вдосконаленні обробки напівпровідників. Наші покриття з карбіду кремнію є щільними, стійкими до високих температур і хімікатів, які часто використовуються в усьому циклі виробництва напівпровідників, включаючи напівпровідникові пластини, обробку пластин і виготовлення напівпровідників.
Високочисті керамічні компоненти SiC мають вирішальне значення для процесів у напівпровіднику. Наша пропозиція варіюється від витратних матеріалів для обладнання для обробки пластин, таких як вафельний човен з карбіду кремнію, консольні лопаті, труби тощо для епітаксії або MOCVD.
Переваги для напівпровідникових процесів
Фази осадження тонкої плівки, такі як епітаксія або MOCVD, або обробка пластин, наприклад травлення чи іонна імплантація, повинні витримувати високі температури та жорстке хімічне очищення. Semicorex постачає конструкцію з високочистого карбіду кремнію (SiC), яка забезпечує чудову термостійкість і довговічну хімічну стійкість, рівномірну термічну однорідність для стабільної товщини і стійкості епі-шару.
Кришки камери →
Кришки камер, які використовуються для вирощування кристалів і обробки пластин, повинні витримувати високі температури та жорстке хімічне очищення.
Консольне весло →
Консольна пластина є важливим компонентом, який використовується в процесах виробництва напівпровідників, зокрема в дифузійних або LPCVD печах під час таких процесів, як дифузія та RTP.
Технологічна трубка →
Process Tube — це важливий компонент, спеціально розроблений для різних програм обробки напівпровідників, таких як RTP, дифузія.
Вафельні кораблики →
Wafer Boat використовується в обробці напівпровідників, він був ретельно розроблений, щоб забезпечити безпеку делікатних пластин під час критичних етапів виробництва.
Впускні кільця →
Газове вхідне кільце з покриттям SiC за допомогою обладнання MOCVD Зростання сполуки має високу стійкість до тепла та корозії, що має високу стабільність у екстремальних умовах.
Кільце фокусування →
Semicorex постачає кільце фокусування з покриттям з карбіду кремнію, яке дійсно стійке до RTA, RTP або жорсткого хімічного очищення.
Вафельний патрон →
Ультраплоскі керамічні вакуумні вафельні патрони Semicorex мають покриття SiC високої чистоти, яке використовується в процесі обробки пластин.
Semicorex також має керамічні вироби з оксиду алюмінію (Al2O3), нітриду кремнію (Si3N4), нітриду алюмінію (AIN), оксиду цирконію (ZrO2), композитної кераміки тощо.
Semicorex SIC-вакуумні умови-це високоефективна керамічна кріплення, призначена для безпечної адсорбції вафель у виробництві напівпровідників. Завдяки чудовим тепловим, механічним та хімічним властивостям, він забезпечує стабільність та точність у вимогливих технологічних середовищах.*
ДетальнішеНадіслати запитКомпозитні обігрівачі Semicorex PBN-це вдосконалені нагрівальні елементи, розроблені для високотемпературних, надолійних вакуумних середовищ, широко використовуваних у напівпровідниках, оптоелектроніці та дослідницьких галузях матеріалів. Виберіть Semicorex для провідної галузі досвіду, налаштування невеликої партії та якості світового класу в розрігах PBN.*
ДетальнішеНадіслати запитКонсольні весла Semicorex SIC-це високопродуктивні консольні весла карбіду кремнію, що використовуються в напівпровідниковому обладнанні термічної обробки, призначеного для стабільної обробки вафель у високотемпературних умовах. Вибір Semicorex означає вибирати матеріали з високою чистотою, відмінну термічну стійкість та технологію виготовлення точності в галузі, щоб забезпечити стабільний і надійний кожен ваш критичний процес.*
ДетальнішеНадіслати запитВласники човнів Semicorex SIC - це важливі структурні компоненти, які забезпечують точне та надійне позиціонування вафель у напівпровідниковій термічній обробці. Виберіть Semicorex для неперевершеної якості, технічної експертизи та зобов’язання просувати рішення SIC високої чистоти у виробництві напівпровідників.*
ДетальнішеНадіслати запитКатери вафельних вафель Semicorex-це керамічні носії з точністю, розроблені для високотемпературної обробки вафель у виробництві напівпровідників. Виберіть Semicorex для його неперевершеної чистоти матеріалу, вдосконаленої технології виготовлення та прихильності до якості, що забезпечує постійну продуктивність у найвибагливіших чистих умовах.*
ДетальнішеНадіслати запитSEMICOREX SIC трубки-це трубки для карбідної печі кремнію, призначені для напівпровідникових високотемпературних процесів, з відмінною термічною стійкістю та хімічною корозійною стійкістю. Вибір сировини Semicorex з високою чистотою, точні виробничі процеси та довгострокові гарантії надійності, щоб забезпечити міцну підтримку для вашого процесу виготовлення напівпровідників.*
ДетальнішеНадіслати запит