Semicorex — ваш партнер у вдосконаленні обробки напівпровідників. Наші покриття з карбіду кремнію є щільними, стійкими до високих температур і хімікатів, які часто використовуються в усьому циклі виробництва напівпровідників, включаючи напівпровідникові пластини, обробку пластин і виготовлення напівпровідників.
Високочисті керамічні компоненти SiC мають вирішальне значення для процесів у напівпровіднику. Наша пропозиція варіюється від витратних матеріалів для обладнання для обробки пластин, таких як вафельний човен з карбіду кремнію, консольні лопаті, труби тощо для епітаксії або MOCVD.
Переваги для напівпровідникових процесів
Фази осадження тонкої плівки, такі як епітаксія чи MOCVD, або обробка пластин, наприклад травлення чи іонна імплантація, повинні витримувати високі температури та жорстке хімічне очищення. Semicorex постачає конструкцію з карбіду кремнію (SiC) високої чистоти, яка забезпечує чудову термостійкість і тривалу хімічну стійкість, рівномірну термічну однорідність для сталої товщини та стійкості епі-шару.
Кришки камери →
Кришки камер, які використовуються для вирощування кристалів і обробки пластин, повинні витримувати високі температури та жорстке хімічне очищення.
Консольне весло →
Консольна пластина є важливим компонентом, який використовується в процесах виробництва напівпровідників, зокрема в дифузійних або LPCVD печах під час таких процесів, як дифузія та RTP.
Технологічна трубка →
Process Tube — це важливий компонент, спеціально розроблений для різних програм обробки напівпровідників, таких як RTP, дифузія.
Вафельні кораблики →
Wafer Boat використовується в обробці напівпровідників, він був ретельно розроблений, щоб забезпечити безпеку делікатних пластин під час критичних етапів виробництва.
Впускні кільця →
Газове вхідне кільце з покриттям SiC за допомогою обладнання MOCVD Зростання сполуки має високу стійкість до тепла та корозії, що має високу стабільність у екстремальних умовах.
Кільце фокусування →
Semicorex постачає кільце фокусування з покриттям з карбіду кремнію, яке дійсно стійке до RTA, RTP або жорсткого хімічного очищення.
Вафельний патрон →
Ультраплоскі керамічні вакуумні вафельні патрони Semicorex мають покриття SiC високої чистоти, яке використовується в процесі обробки пластин.
Semicorex також має керамічні вироби з оксиду алюмінію (Al2O3), нітриду кремнію (Si3N4), нітриду алюмінію (AIN), оксиду цирконію (ZrO2), композитної кераміки тощо.
Керамічна насадка Semicorex Zirconia, створена з прискіпливою увагою до деталей, ця насадка є втіленням досконалості в управлінні швидкістю потоку як газів, так і рідин з неперевершеною рівномірністю та точністю. Semicorex прагне надавати якісну продукцію за конкурентоспроможними цінами, ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.
ДетальнішеНадіслати запитКерамічний патрон із нітриду алюмінію Semicorex — це передове рішення для обробки напівпровідникових пластин, спеціально розроблене для надійного утримання пластин на різних етапах виробництва. Функціонуючи як електростатичний патрон (ESC), цей інноваційний пристрій використовує виняткові властивості кераміки з нітриду алюмінію для забезпечення точного та надійного утримання пластини. Semicorex прагне надавати якісну продукцію за конкурентоспроможними цінами, ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.
ДетальнішеНадіслати запитВи можете бути впевнені, купуючи тримач для пластин з нітриду алюмінію на нашому заводі. Тримач для пластин Semicorex з нітриду алюмінію (AlN) є незамінним компонентом у сфері обробки напівпровідників, служачи ключовою платформою для надійного утримання делікатних пластин на різних етапах виготовлення. Виготовлений з високоякісного нітриду алюмінію, відомого своєю винятковою теплопровідністю, механічною міцністю та електроізоляційними властивостями, цей тримач для пластин забезпечує оптимальні умови для точних і ефективних процесів виробництва напівпровідників. Semicorex прагне надавати якісну продукцію за конкурентоспроможними цінами, ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.
ДетальнішеНадіслати запитПідшипник з нітриду кремнію Semicorex є вершиною інженерної досконалості, пропонуючи неперевершену продуктивність і надійність у широкому спектрі промислових застосувань. Відомі своєю винятковою міцністю, довговічністю та універсальністю, підшипники з нітриду кремнію стали кращим вибором у різних секторах, від аерокосмічної та автомобільної до медицини та виробництва. Semicorex прагне надавати якісну продукцію за конкурентоспроможними цінами, ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.
ДетальнішеНадіслати запитSemicorex Silicon Nitride Disk являє собою вершину інновацій у матеріалознавстві, поєднуючи виняткові властивості кремнію та азоту в універсальній та міцній дископодібній формі. Створений за допомогою передових виробничих процесів, цей диск із нітриду кремнію втілює високу термічну стабільність, чудову механічну міцність, чудову зносостійкість і відмінну хімічну інертність. Semicorex прагне надавати якісну продукцію за конкурентоспроможними цінами, ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.
ДетальнішеНадіслати запитГлиноземний патрон Semicorex є наріжним інструментом для обробки напівпровідників, ретельно виготовлений із глиноземної кераміки. Semicorex прагне надавати якісну продукцію за конкурентоспроможними цінами, ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.
ДетальнішеНадіслати запит