Покриття SiC – це тонкий шар, нанесений на чутливий елемент за допомогою процесу хімічного осадження з парової фази (CVD). Карбід кремнію має низку переваг перед кремнієм, включаючи 10-кратну напруженість електричного поля пробою, 3-кратну ширину забороненої зони, що забезпечує матеріал стійкістю до високих температур і хімічних речовин, відмінною зносостійкістю, а також теплопровідністю.
Semicorex надає індивідуальне обслуговування, допомагає вам впроваджувати інновації з компонентами, які служать довше, скорочують час циклу та підвищують врожайність.
Покриття SiC має кілька унікальних переваг
Стійкість до високих температур: токоприймач із покриттям CVD SiC може витримувати високі температури до 1600°C без значної термічної деградації.
Хімічна стійкість: покриття з карбіду кремнію забезпечує чудову стійкість до широкого спектру хімічних речовин, включаючи кислоти, луги та органічні розчинники.
Зносостійкість: покриття SiC надає матеріалу чудову зносостійкість, що робить його придатним для застосувань, які передбачають високий рівень зношування.
Теплопровідність: покриття CVD SiC надає матеріалу високу теплопровідність, що робить його придатним для використання в умовах високих температур, які потребують ефективної теплопередачі.
Висока міцність і жорсткість: токоприймач, покритий карбідом кремнію, надає матеріалу високу міцність і жорсткість, що робить його придатним для застосувань, які вимагають високої механічної міцності.
Покриття SiC використовується в різних сферах застосування
Виробництво світлодіодів: CVD SiC-суцептор із покриттям використовується у виробництві різних типів світлодіодів, включаючи сині та зелені світлодіоди, ультрафіолетові світлодіоди та світлодіоди глибокого ультрафіолетового випромінювання, завдяки своїй високій теплопровідності та хімічній стійкості.
Мобільний зв’язок: CVD-SiC-покривний приймач є важливою частиною HEMT для завершення епітаксійного процесу GaN-on-SiC.
Обробка напівпровідників: CVD SiC-суцептор із покриттям використовується в напівпровідниковій промисловості для різних застосувань, включаючи обробку пластин та епітаксійне зростання.
Графітові компоненти з покриттям SiC
Виготовлене з графіту з покриттям з карбіду кремнію (SiC), покриття наноситься методом CVD на певні сорти графіту високої щільності, тому воно може працювати у високотемпературній печі з температурою понад 3000 °C в інертній атмосфері та 2200 °C у вакуумі. .
Особливі властивості та невелика маса матеріалу забезпечують швидкий нагрів, рівномірний розподіл температури та виняткову точність контролю.
Матеріальні дані покриття Semicorex SiC
Типові властивості |
одиниці |
Цінності |
Структура |
|
FCC β фаза |
Орієнтація |
частка (%) |
111 бажано |
Насипна щільність |
г/см³ |
3.21 |
Твердість |
Твердість за Віккерсом |
2500 |
Теплоємність |
Дж кг-1 К-1 |
640 |
Теплове розширення 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6К-1 |
4.5 |
Модуль Юнга |
Gpa (вигин 4 точки, 1300 ℃) |
430 |
Розмір зерна |
мкм |
2~10 |
Температура сублімації |
℃ |
2700 |
Згинальна сила |
МПа (RT 4 точки) |
415 |
Теплопровідність |
(Вт/мК) |
300 |
Висновок Токоприймач із CVD SiC покриттям є композиційним матеріалом, що поєднує в собі властивості токоприймача та карбіду кремнію. Цей матеріал володіє унікальними властивостями, включаючи високу температурну і хімічну стійкість, відмінну зносостійкість, високу теплопровідність, а також високу міцність і жорсткість. Ці властивості роблять його привабливим матеріалом для різних високотемпературних застосувань, включаючи обробку напівпровідників, хімічну обробку, термічну обробку, виробництво сонячних батарей і світлодіодів.
Graphite Carrier Plate RTP від Semicorex є ідеальним рішенням для обробки напівпровідникових пластин, включаючи епітаксійне вирощування та обробку обробки пластин. Наш продукт розроблений, щоб запропонувати чудову термостійкість і термічну однорідність, гарантуючи, що епітаксійні рецептори піддаються впливу середовища осадження з високою термостійкістю та стійкістю до корозії.
ДетальнішеНадіслати запитSemicorex RTP SiC Coating Carrier забезпечує чудову термостійкість і термічну однорідність, що робить його ідеальним рішенням для обробки напівпровідникових пластин. Завдяки високоякісному графіту з покриттям SiC, цей продукт розроблений таким чином, щоб витримувати найсуворіші умови осадження для епітаксійного росту. Висока теплопровідність і відмінні властивості розподілу тепла забезпечують надійну роботу для RTA, RTP або жорсткого хімічного очищення.
ДетальнішеНадіслати запитSemicorex RTP/RTA SiC Coating Carrier розроблено таким чином, щоб витримувати найсуворіші умови середовища осадження. Завдяки високій термостійкості та стійкості до корозії цей продукт розроблено для забезпечення оптимальної продуктивності для епітаксійного росту. Носій із покриттям SiC має високу теплопровідність і чудові властивості розподілу тепла, що забезпечує надійну роботу для RTA, RTP або жорсткого хімічного очищення.
ДетальнішеНадіслати запитНесуча пластина Semicorex SiC Graphite RTP для MOCVD забезпечує чудову термостійкість і термічну однорідність, що робить її ідеальним рішенням для обробки напівпровідникових пластин. Завдяки високоякісному графіту з SiC покриттям цей продукт розроблено таким чином, щоб витримувати найсуворіші умови осадження для епітаксійного росту. Висока теплопровідність і відмінні властивості розподілу тепла забезпечують надійну роботу для RTA, RTP або жорсткого хімічного очищення.
ДетальнішеНадіслати запитНесуча пластина RTP з покриттям Semicorex SiC для епітаксіального росту є ідеальним рішенням для обробки напівпровідникових пластин. Завдяки високоякісним вугільно-графітовим приймачам і кварцовим тиглям, обробленим MOCVD на поверхні графіту, кераміки тощо, цей продукт ідеально підходить для роботи з пластинами та епітаксійної обробки. Носій з покриттям SiC забезпечує високу теплопровідність і чудові властивості розподілу тепла, що робить його надійним вибором для RTA, RTP або жорсткого хімічного очищення.
ДетальнішеНадіслати запитSemicorex є великомасштабним виробником і постачальником графітових токоприймачів із покриттям з карбіду кремнію в Китаї. Графітова опора Semicorex, розроблена спеціально для обладнання для епітаксії з високою термостійкістю та стійкістю до корозії в Китаї. Наш RTP RTA SiC Coated Carrier має гарну цінову перевагу та покриває багато європейських та американських ринків. Ми сподіваємося стати вашим довгостроковим партнером.
ДетальнішеНадіслати запит