Покриття SiC – це тонкий шар, нанесений на чутливий елемент за допомогою процесу хімічного осадження з парової фази (CVD). Карбід кремнію має низку переваг перед кремнієм, включаючи 10-кратну напруженість електричного поля пробою, 3-кратну ширину забороненої зони, що забезпечує матеріал стійкістю до високих температур і хімічних речовин, відмінною зносостійкістю, а також теплопровідністю.
Semicorex надає індивідуальне обслуговування, допомагає вам впроваджувати інновації з компонентами, які служать довше, скорочують час циклу та підвищують врожайність.
Покриття SiC має кілька унікальних переваг
Стійкість до високих температур: токоприймач із покриттям CVD SiC може витримувати високі температури до 1600°C без значної термічної деградації.
Хімічна стійкість: покриття з карбіду кремнію забезпечує чудову стійкість до широкого спектру хімічних речовин, включаючи кислоти, луги та органічні розчинники.
Зносостійкість: покриття SiC надає матеріалу чудову зносостійкість, що робить його придатним для застосувань, які передбачають високий рівень зношування.
Теплопровідність: покриття CVD SiC надає матеріалу високу теплопровідність, що робить його придатним для використання в умовах високих температур, які потребують ефективної теплопередачі.
Висока міцність і жорсткість: токоприймач, покритий карбідом кремнію, надає матеріалу високу міцність і жорсткість, що робить його придатним для застосувань, які вимагають високої механічної міцності.
Покриття SiC використовується в різних сферах застосування
Виробництво світлодіодів: CVD SiC-суцептор із покриттям використовується у виробництві різних типів світлодіодів, включаючи сині та зелені світлодіоди, ультрафіолетові світлодіоди та світлодіоди глибокого ультрафіолетового випромінювання, завдяки своїй високій теплопровідності та хімічній стійкості.
Мобільний зв’язок: CVD-SiC-покривний приймач є важливою частиною HEMT для завершення епітаксійного процесу GaN-on-SiC.
Обробка напівпровідників: CVD SiC-суцептор із покриттям використовується в напівпровідниковій промисловості для різних застосувань, включаючи обробку пластин та епітаксійне зростання.
Графітові компоненти з покриттям SiC
Виготовлене з графіту з покриттям з карбіду кремнію (SiC), покриття наноситься методом CVD на певні сорти графіту високої щільності, тому воно може працювати у високотемпературній печі з температурою понад 3000 °C в інертній атмосфері та 2200 °C у вакуумі. .
Особливі властивості та невелика маса матеріалу забезпечують швидкий нагрів, рівномірний розподіл температури та виняткову точність контролю.
Матеріальні дані покриття Semicorex SiC
Типові властивості |
одиниці |
Цінності |
Структура |
|
FCC β фаза |
Орієнтація |
частка (%) |
111 бажано |
Насипна щільність |
г/см³ |
3.21 |
Твердість |
Твердість за Віккерсом |
2500 |
Теплоємність |
Дж кг-1 К-1 |
640 |
Теплове розширення 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6К-1 |
4.5 |
Модуль Юнга |
Gpa (вигин 4 точки, 1300 ℃) |
430 |
Розмір зерна |
мкм |
2~10 |
Температура сублімації |
℃ |
2700 |
Згинальна сила |
МПа (RT 4 точки) |
415 |
Теплопровідність |
(Вт/мК) |
300 |
Висновок Токоприймач із CVD SiC покриттям є композиційним матеріалом, що поєднує в собі властивості токоприймача та карбіду кремнію. Цей матеріал володіє унікальними властивостями, включаючи високу температурну і хімічну стійкість, відмінну зносостійкість, високу теплопровідність, а також високу міцність і жорсткість. Ці властивості роблять його привабливим матеріалом для різних високотемпературних застосувань, включаючи обробку напівпровідників, хімічну обробку, термічну обробку, виробництво сонячних батарей і світлодіодів.
Ви можете бути впевнені, купуючи напівпровідниковий пластинчастий носій для обладнання MOCVD на нашому заводі. Носії напівпровідникових пластин є важливим компонентом обладнання MOCVD. Вони використовуються для транспортування та захисту напівпровідникових пластин під час виробничого процесу. Носії напівпровідникових пластин для обладнання MOCVD виготовляються з матеріалів високої чистоти та призначені для збереження цілісності пластин під час обробки.
ДетальнішеНадіслати запитТонкоприймач MOCVD із графітовою підкладкою з карбіду кремнію Semicorex є найкращим вибором для виробників напівпровідників, яким потрібен високоякісний носій, який може забезпечити чудову продуктивність і довговічність. Його вдосконалений матеріал забезпечує рівномірний тепловий профіль і ламінарну схему потоку газу, забезпечуючи високоякісні пластини.
ДетальнішеНадіслати запитSemicorex MOCVD Wafer Carriers for Semiconductor Industry — це передовий носій, призначений для використання в напівпровідниковій промисловості. Його високочистий матеріал забезпечує рівномірний тепловий профіль і ламінарну схему потоку газу, забезпечуючи високоякісні пластини.
ДетальнішеНадіслати запитSemicorex SiC Coated Plate Carriers for MOCVD — це високоякісний носій, призначений для використання в процесі виробництва напівпровідників. Його висока чистота, чудова стійкість до корозії та навіть тепловий профіль роблять його чудовим вибором для тих, хто шукає носій, який може витримати вимоги процесу виробництва напівпровідників.
ДетальнішеНадіслати запитSemicorex є надійним ім’ям у напівпровідниковій промисловості, що надає високоякісний MOCVD Planet Susceptor для Semiconductor. Наш продукт розроблений для задоволення особливих потреб виробників напівпровідників, які шукають носій, який може забезпечити чудову продуктивність, стабільність і довговічність. Зв’яжіться з нами сьогодні, щоб дізнатися більше про наш продукт і про те, як ми можемо допомогти вам із вашими потребами у виробництві напівпровідників.
ДетальнішеНадіслати запитSemicorex MOCVD Satellite Holder Plate — це видатний носій, призначений для використання в напівпровідниковій промисловості. Його висока чистота, чудова стійкість до корозії та навіть тепловий профіль роблять його чудовим вибором для тих, хто шукає носій, який може витримати вимоги процесу виробництва напівпровідників. Ми прагнемо надавати нашим клієнтам високоякісні продукти, які відповідають їхнім особливим вимогам. Зв’яжіться з нами сьогодні, щоб дізнатися більше про нашу пластину-тримач супутника MOCVD і про те, як ми можемо допомогти вам із вашими потребами у виробництві напівпровідників.
ДетальнішеНадіслати запит