Графітові деталі з покриттям TaC

Графітові деталі Semicorex TaC виготовлені з ізостатичного графіту високої чистоти та покриті карбідом танталу (TaC), який забезпечує неперевершену стійкість до екстремальних температур. Графітові деталі з покриттям TaC розроблені таким чином, щоб витримувати суворі умови виробництва напівпровідників і чудово покращують різні процеси, важливі для виробництва високоякісних напівпровідникових продуктів. Їх виняткова термостійкість забезпечує надійність і довговічність навіть у найскладніших теплових умовах.

Графітові деталі з покриттям TaC відіграють ключову роль в оптимізації ключових методів обробки напівпровідників, включаючи процеси дифузії, окислювальний відпал, LPCVD і PECVD. Полегшуючи точний контроль над температурою та забезпечуючи однорідність підкладок, графітові деталі з покриттям TaC роблять значний внесок у покращення якості продукції та ефективності виробництва.

Графітові деталі Semicorex TaC з покриттям розроблені відповідно до суворих вимог виробництва напівпровідників. Від покращення процесів дифузії до покращення якості та ефективності різних методів осадження, графітові деталі з покриттям TaC є незамінними активами в прагненні до досконалості у виготовленні напівпровідників.