Ущільнювальне кільце з покриттям TaC

Ущільнювальне кільце з покриттям Semicorex TaC демонструє виняткову інертність до широкого спектру корозійних газів і хімікатів, які використовуються в напівпровідникових процесах, включаючи хімікати плазмового травлення (наприклад, фтор, хлор, бром), легуючі добавки (наприклад, бор, фосфор, миш’як) і агресивні чистячі засоби. Ця інертність запобігає погіршенню ущільнення та забрудненню чутливих технологічних камер.

І з точкою плавлення, що перевищує 3800°C, ущільнювальне кільце з TaC-покриттям зберігає свою структурну цілісність і механічну міцність при підвищених температурах, які виникають під час обробки пластин. Це забезпечує надійне ущільнення під час процесів високотемпературного відпалу, осадження та травлення.

Надзвичайна твердість і низький коефіцієнт тертя ущільнювального кільця з покриттям TaC забезпечують виняткову стійкість до зносу, подряпин і стирання. Це має вирішальне значення в застосуваннях динамічного ущільнення, де повторювані рухи або контакт із пластинами та іншими компонентами можуть призвести до утворення частинок і порушення ущільнення.

Ущільнювальне кільце з покриттям TaC демонструє дуже низькі показники виділення газів навіть при підвищених температурах, що робить їх ідеальними для застосувань у високому вакуумі. Це забезпечує чистоту процесу та запобігає відкладенню небажаних забруднень на чутливих поверхнях пластин.

Конкретні переваги в напівпровідникових додатках:

Подовжений термін служби ущільнення:Ущільнювальне кільце з покриттям TaC значно збільшує термін служби ущільнення, забезпечуючи чудову стійкість до хімічного впливу, термічної деградації та механічного зносу. Це зменшує частоту заміни ущільнень, мінімізуючи час простою та витрати на технічне обслуговування.

Покращена продуктивність процесу та якість пластин:Інертний характер ущільнювального кільця з TaC-покриттям мінімізує утворення часток і забруднення, що призводить до підвищення продуктивності процесу та покращення якості пластин. Це критично важливо для виробництва високопродуктивних напівпровідникових приладів із суворими допусками дефектів.

Покращена безвідмовна робота обладнання та продуктивність:Більший термін служби ущільнювачів і менші вимоги до обслуговування сприяють збільшенню часу безвідмовної роботи обладнання та загальної продуктивності. Це має вирішальне значення для максимізації виробництва та задоволення вимог масового виробництва напівпровідників.